A63.7069 الوظيفة الرئيسية للبرنامج | ||
تنظيم الضغط العالي | مسح خط عمودي | تنظيم التحول المحتمل |
التنظيم الحالي الشعيرة | تعديل المكثف | قياس متعدد المقاييس |
تعديل اللابؤرية | تعديل كهربائي إلى مركزي | السطوع / التباين التلقائي |
تعديل السطوع | تعديل العدسة الموضوعي | التركيز التلقائي |
تعديل التباين | معاينة الصورة | القضاء التلقائي على الاستجماتيزم |
تعديل التكبير | المسطرة النشطة | الضبط التلقائي للخيوط |
وضع مسح المنطقة المحدد | 4 إعداد سرعة المسح | إدارة المعلمات |
وضع مسح النقاط | انقلاب العدسة الموضوعي | لقطة صورة ، تجميد الصورة |
مسح السطح | انعكاس المكثف | عرض سريع لمفتاح واحد |
مسح الخط الأفقي | تعديل الدوران الكهربائي |
SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
القرار | 3nm @ 30KV (SE) 6 نانومتر @ 30 كيلو فولت (جنون البقر) |
1.5nm@30KV (SE) 3nm @ 30KV (BSE) |
1.0nm@30KV (SE) 3.0nm@1KV (SE) 2.5nm@30KV (جنون البقر) |
تكبير | 8x ~ 300000x التكبير الحقيقي السلبي | 8x ~ 800000x التكبير الحقيقي السلبي | 6x ~ 1000000x التكبير الحقيقي السلبي |
بندقية الكترون | خرطوشة خيوط التنجستن المركزة مسبقًا | بندقية شوتكي للانبعاثات الميدانية | بندقية شوتكي للانبعاثات الميدانية |
الجهد االكهربى | تسريع الجهد 0 ~ 30KV ، قابل للتعديل بشكل مستمر ، ضبط الخطوة 100V @ 0-10Kv ، 1KV @ 10-30KV | ||
نظرة سريعة | وظيفة مفتاح واحد لعرض سريع للصورة | غير متاح | غير متاح |
نظام العدسة | عدسة مدببة كهرومغناطيسية بثلاثة مستويات | عدسات مدببة كهرومغناطيسية متعددة المستويات | |
فتحة | 3 فتحات موضوعية من الموليبدينوم ، قابلة للتعديل خارج نظام الفراغ ، لا حاجة لتفكيك الهدف لتغيير الفتحة | ||
نظام الشفط | 1 توربو مضخة جزيئية 1 مضخة ميكانيكية فراغ غرفة عينة> 2.6E-3Pa فراغ غرفة بندقية الإلكترون> 2.6E-3Pa تحكم آلي بالكامل في الفراغ وظيفة التعشيق الفراغي نموذج اختياري: A63.7069-LV 1 توربو مضخة جزيئية 2مضخات ميكانيكية فراغ غرفة عينة> 2.6E-3Pa فراغ غرفة بندقية الإلكترون> 2.6E-3Pa تحكم آلي بالكامل في الفراغ وظيفة التعشيق الفراغي فراغ منخفضالنطاق 10 ~ 270Pa للتبديل السريع في 90 ثانية لمرض جنون البقر (LV) |
1 مجموعة مضخة أيون 1 توربو مضخة جزيئية 1 مضخة ميكانيكية فراغ غرفة عينة> 6E-4Pa فراغ غرفة بندقية الإلكترون> 2E-7 Pa تحكم آلي بالكامل في الفراغ وظيفة التعشيق الفراغي |
1 مضخة أيونات الرش 1 مضخة مركبة جيتير أيون 1 توربو مضخة جزيئية 1 مضخة ميكانيكية فراغ غرفة عينة> 6E-4Pa فراغ غرفة بندقية الإلكترون> 2E-7 Pa تحكم آلي بالكامل في الفراغ وظيفة التعشيق الفراغي |
كاشف | SE: كاشف إلكترون ثانوي عالي الفراغ (مع حماية الكاشف) | SE: كاشف إلكترون ثانوي عالي الفراغ (مع حماية الكاشف) | SE: كاشف إلكترون ثانوي عالي الفراغ (مع حماية الكاشف) |
جنون البقر: تجزئة أشباه الموصلات 4 كاشف التشتت الخلفي نموذج اختياري: A63.7069-LV جنون البقر (LV): تجزئة أشباه الموصلات 4 كاشف التشتت الخلفي |
اختياري | اختياري | |
اتفاقية مكافحة التصحر:كاميرا بجهاز اقتران الشحنات بالأشعة تحت الحمراء | اتفاقية مكافحة التصحر:كاميرا بجهاز اقتران الشحنات بالأشعة تحت الحمراء | اتفاقية مكافحة التصحر:كاميرا بجهاز اقتران الشحنات بالأشعة تحت الحمراء | |
توسيع المنفذ | 2 تمديد المنافذ في غرفة العينة ل EDS ، BSD ، WDS إلخ. |
4 تمديد المنافذ في غرفة العينة ل BSE ، EDS ، BSD ، WDS إلخ. |
4 تمديد المنافذ في غرفة العينة ل BSE ، EDS ، BSD ، WDS إلخ. |
مرحلة العينة | مرحلة 5 محاور ، 4آلي+1يدويمراقبة نطاق السفر: X = 70 مم ، ص = 50 مم ، Z = 45 مم ، R = 360 درجة ، T = -5 درجة ~ + 90 درجة (يدوي) وظيفة التنبيه والإيقاف باللمس |
5 محاورآلي وسطمنصة نطاق السفر: X = 80 مم ، ص = 50 مم ، Z = 30 مم ، R = 360 درجة ، T = -5 درجة ~ + 70 درجة وظيفة التنبيه والإيقاف باللمس نموذج اختياري: A63.7080 م5 محاوريدويمنصة A63.7080-L5 محاورآلي كبيرمنصة |
5 محاورآلي كبيرمنصة نطاق السفر: X = 150 مم ، ص = 150 مم ، Z = 60 مم ، R = 360 درجة ، T = -5 درجة ~ + 70 درجة وظيفة التنبيه والإيقاف باللمس |
ماكس عينة | ضياء 175 مم ، ارتفاع 35 مم | ضياء 175 مم ، ارتفاع 20 مم | Dia.340mm، ارتفاع 50mm |
نظام الصور | دقة قصوى للصور الثابتة الحقيقية 4096x4096 بكسل ، تنسيق ملف الصورة: BMP (افتراضي) ، GIF ، JPG ، PNG ، TIF |
دقة قصوى للصور الثابتة الحقيقية تبلغ 16384 × 16384 بكسل ، تنسيق ملف الصورة: TIF (افتراضي) ، BMP ، GIF ، JPG ، PNG الفيديو: تسجيل تلقائي رقمي فيديو AVI |
دقة قصوى للصور الثابتة الحقيقية تبلغ 16384 × 16384 بكسل ، تنسيق ملف الصورة: TIF (افتراضي) ، BMP ، GIF ، JPG ، PNG الفيديو: تسجيل تلقائي رقمي فيديو AVI |
برامج الكمبيوتر | نظام Win 10 للكمبيوتر الشخصي ، مع برنامج تحليل الصور الاحترافي للتحكم الكامل في تشغيل مجهر SEM بالكامل ، مواصفات الكمبيوتر لا تقل عن Inter I5 3.2GHz ، ذاكرة 4G ، شاشة IPS LCD 24 بوصة ، قرص صلب 500G ، ماوس ، لوحة مفاتيح | ||
عرض الصور | مستوى الصورة غني ودقيق ، ويظهر التكبير في الوقت الحقيقي ، والمسطرة ، والجهد ، والمنحنى الرمادي | ||
البعد & وزن |
جسم المجهر 800x800x1850mm طاولة العمل 1340x850x740mm الوزن الإجمالي 400 كجم |
جسم المجهر 800x800x1480mm طاولة العمل 1340x850x740mm الوزن الإجمالي 450 كجم |
جسم المجهر 1000x1000x1730mm طاولة العمل 1330x850x740mm الوزن الإجمالي 550 كجم |
الملحقات الاختيارية | |||
الملحقات الاختيارية | A50.7002مطياف الأشعة السينية المشتت للطاقة EDS A50.7011أيون الاخرق المغطي |
A50.7001كاشف الإلكترون بالتشتت الخلفي لمرض جنون البقر A50.7002مطياف الأشعة السينية المشتت للطاقة EDS A50.7011أيون الاخرق المغطي A50.7030لوحة تحكم بمحركات |
A50.7001كاشف الإلكترون بالتشتت الخلفي لمرض جنون البقر A50.7002مطياف الأشعة السينية المشتت للطاقة EDS A50.7011أيون الاخرق المغطي A50.7030لوحة تحكم بمحركات |
A50.7001 | كاشف مرض جنون البقر | كاشف تشتت الظهر بأربعة أجزاء من أشباه الموصلات ؛ متوفر في المكونات A + B ، Morphology Info AB ؛ عينة متاحة مراقبة دون رش الذهب ؛ متوفر في مراقبة الشوائب والتوزيع من خريطة تدرج الرمادي مباشرة. |
A50.7002 | EDS (كاشف الأشعة السينية) | نافذة نيتريد السيليكون (Si3N4) لتحسين نقل الأشعة السينية منخفض الطاقة لتحليل عنصر الضوء ؛ توفر الدقة الممتازة والإلكترونيات المتقدمة منخفضة الضوضاء أداءً متميزًا للإنتاجية ؛ توفر البصمة الصغيرة المرونة لضمان الهندسة المثالية وظروف تجميع Aata ؛ تحتوي الكاشفات على رقاقة بحجم 30 مم 2. |
A50.7003 | EBSD (حيود شعاع الإلكترون المرتد) | يمكن للمستخدم تحليل اتجاه الكريستال والمرحلة البلورية والملمس الدقيق للمواد وأداء المواد ذات الصلة ، إلخ. التحسين التلقائي لإعدادات كاميرا EBSD أثناء جمع البيانات ، قم بإجراء تحليل تفاعلي في الوقت الفعلي للحصول على أقصى قدر من المعلومات تم تمييز جميع البيانات بعلامة الوقت ، والتي يمكن عرضها في أي وقت دقة عالية 1392 × 1040 × 12 سرعة المسح والفهرس: 198 نقطة / ثانية ، مع معيار Ni ، بشرط 2 ~ 5nA ، يمكن أن يضمن معدل المؤشر ≥99٪ ؛ يعمل بشكل جيد في حالة تيار الشعاع المنخفض والجهد المنخفض 5kV عند 100pA دقة قياس الاتجاه: أفضل من 0.1 درجة باستخدام نظام الفهرس الثلاثي: لا حاجة للاعتماد على تعريف النطاق الفردي ، والفهرسة السهلة لجودة النمط الرديئة قاعدة بيانات مخصصة: قاعدة بيانات EBSD الخاصة التي تم الحصول عليها عن طريق حيود الإلكترون:> 400 هيكل طور قدرة الفهرس: يمكنها فهرسة جميع المواد البلورية من 7 أنظمة بلورية تلقائيًا. تشمل الخيارات المتقدمة حساب الصلابة المرنة (Elastic Stiffness) وعامل Taylor (Taylor) وعامل Schmidt (Schmid) وما إلى ذلك. |
A50.7010 | آلة طلاء | غلاف حماية الزجاج: ∮250mm ؛340 مم عالية ؛ غرفة معالجة الزجاج: ∮88 مم ؛140 مم عالية ، 88 مم ؛57mm عالية ؛ حجم مرحلة العينة: ∮40mm (الحد الأقصى) ؛ نظام الفراغ: مضخة جزيئية ومضخة ميكانيكية ؛ كشف الفراغ: Pirani Gage ؛ فراغ: أفضل من 2 × 10-3 باسكال ؛ حماية الفراغ: 20 باسكال مع صمام تضخم مجهري ؛ حركة العينة: دوران الطائرة ، حركة الإمالة. |
A50.7011 | أيون الاخرق المغطي | غرفة معالجة الزجاج: ∮100mm ؛130 ملم عالية ؛ حجم مرحلة العينة: ∮40 مم (عقد 6 أكواب عينة) ؛ الحجم المستهدف الذهبي: ∮58mm * 0.12mm (سمك) ؛ كشف الفراغ: Pirani Gage ؛ حماية الفراغ: 20 باسكال مع صمام تضخم مجهري ؛ الغاز المتوسط: الأرجون أو الهواء مع مدخل هواء خاص بغاز الأرجون وتنظيم الغاز في المقياس المجهري. |
A50.7012 | الأرجون أيون الاخرق المغطي | تم طلاء العينة بالكربون والذهب تحت فراغ عالي ؛ طاولة عينة قابلة للدوران ، طلاء موحد ، حجم الجسيمات حوالي 3-5 نانومتر ؛ لا يوجد اختيار للمواد المستهدفة ، لا ضرر للعينات ؛ يمكن تحقيق وظائف التنظيف الأيوني والتخفيف الأيوني. |
A50.7013 | مجفف النقطة الحرجة | القطر الداخلي: 82 مم ، الطول الداخلي: 82 مم ؛ نطاق الضغط: 0-2000psi ؛ نطاق درجة الحرارة: 0 درجة -50 درجة مئوية (32 درجة -122 درجة فهرنهايت) |
A50.7014 | ليثوغرافيا شعاع الإلكترون | استنادًا إلى المجهر الإلكتروني الماسح ، تم تطوير نظام جديد للتعرض بالنانو ؛ احتفظ Modificaton بجميع وظائف sem لعمل صورة عرض خط نانوي ؛ تم تطبيق نظام Ebl المعدل على نطاق واسع في الأجهزة الإلكترونية الدقيقة ، والأجهزة الإلكترونية الضوئية ، وأجهزة Quantun ، ونظام الإلكترونيات الدقيقة R & d. |
A63.7069 التجهيزات القياسية للمواد الاستهلاكية | |||
1 | سلك فولاذي | تم توسيطه مسبقًا ، مستورد | 1 صندوق (5 قطع) |
2 | كوب عينة | قطر 13 ملم | 5 قطع |
3 | كوب عينة | ضياء 32 ملم | 5 قطع |
4 | شريط موصل من الكربون على الوجهين | 6 مم | 1 حزمة |
5 | شحم الفراغ | 10 قطع | |
6 | قماش بدون شعر | 1 أنبوب | |
7 | معجون تلميع | حاسب شخصي 1 | |
8 | مربع عينة | 2 كيس | |
9 | قطعة القطن | حاسب شخصي 1 | |
10 | فلتر ضباب الزيت | حاسب شخصي 1 | |
A63.7069 المعدات القياسية وقطع الغيار | |||
1 | مفتاح البراغي السداسي الداخلي | 1.5 مم ~ 10 مم | 1 مجموعة |
2 | ملاقيط | الطول 100-120 مم | حاسب شخصي 1 |
3 | مشقوق المفك | 2 * 50 مم ، 2 * 125 مم | 2 حبة |
4 | مفك براغي | 2 * 125 مم | حاسب شخصي 1 |
5 | مزيل الحجاب الحاجز | حاسب شخصي 1 | |
6 | قضيب التنظيف | حاسب شخصي 1 | |
7 | أداة ضبط الفتيل | حاسب شخصي 1 | |
8 | طوق ضبط الفتيل | 3 قطع | |
9 | مستخرج الأنبوب | حاسب شخصي 1 |