- غرفة معالجة الزجاج: ∮100mm. 130 ملم عالية.
- حجم المرحلة المرحلة: ∮40mm (عقد 6 أكواب عينة)
- الحجم المستهدف الذهبي:
∮58mm * 0.12mm (سمك)
- الكشف عن فراغ: Pirani gage
- حماية الفراغ: 20 سنويا مع صمام التضخم المجهر
- غاز ميديوم: الأرجون أو الهواء مع مدخل الهواء الخاص بغاز الأرجون والغاز المنظم في المجهر
A50.7011 أيون رفرفة المغطي | |
غرفة الفراغ | ضياء 100MM * H130mm |
مرحلة العينة | ضياء 40 مم (عقد 6 أكواب عينة) |
الهدف الاخرق الذهب | ضياء 58 ملليمتر * 0.12 ملليمتر (سمك) |
مقياس الفراغ | Pirani Gage |
مضخة فراغ | دوران ريشة الخوخ: 2L / ثانية |
نقطة حماية الفراغ | 20Pa مع صمام التضخم المجهر |
غاز العمل | الأرجون أو الهواء مع مدخل الهواء الخاص بغاز الأرجون والغاز المنظم في المجهر |
الاخرق الجهد | 1.6KV |
الوزن الإجمالي | 48KG |
الالتزام | CE |