- غرفة معالجة الزجاج: ∮100mm. 130 ملم عالية.
- حجم المرحلة المرحلة: ∮40mm (عقد 6 أكواب عينة)
- الحجم المستهدف الذهبي:
∮58mm * 0.12mm (سمك)
- الكشف عن فراغ: Pirani gage
- حماية الفراغ: 20 سنويا مع صمام التضخم المجهر
- غاز ميديوم: الأرجون أو الهواء مع مدخل الهواء الخاص بغاز الأرجون والغاز المنظم في المجهر
| A50.7011 أيون رفرفة المغطي | |
| غرفة الفراغ | ضياء 100MM * H130mm |
| مرحلة العينة | ضياء 40 مم (عقد 6 أكواب عينة) |
| الهدف الاخرق الذهب | ضياء 58 ملليمتر * 0.12 ملليمتر (سمك) |
| مقياس الفراغ | Pirani Gage |
| مضخة فراغ | دوران ريشة الخوخ: 2L / ثانية |
| نقطة حماية الفراغ | 20Pa مع صمام التضخم المجهر |
| غاز العمل | الأرجون أو الهواء مع مدخل الهواء الخاص بغاز الأرجون والغاز المنظم في المجهر |
| الاخرق الجهد | 1.6KV |
| الوزن الإجمالي | 48KG |
| الالتزام | CE |


