مجهر القوة الذرية للمستوى الأساسي

• المستوى الأساسي ، وحدة تحكم منفصلة وتصميم الجسم الرئيسي ، مع وضع الاتصال ، وضع التنصت ، هدف 4x
• تم دمج مسبار المسح ومرحلة العينة ، والقدرة على مقاومة التداخل قوية
• 2. جهاز تحديد المواقع بالليزر والمسبار الدقيق ، من السهل والمريح استبدال المسبار وضبط البقعة.
• 4X تحديد المواقع البصرية للعدسة الموضوعية ، لا حاجة للتركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع منطقة مسح عينة التحقيق
• طريقة التعليق الزنبركي المقاومة للصدمات بسيطة وعملية ، ولها قدرة قوية على مقاومة التداخل
• 

• 

• تم دمج رأس الكشف عن الليزر ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومقاومة التداخل قوية

  ◆ جهاز تحديد موقع المسبار الدقيق ، ضبط محاذاة البقعة بالليزر سهل للغاية

• ◆ تقترب عينة القيادة أحادية المحور تلقائيًا من المسبار عموديًا ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع فحص العينة

  طريقة التغذية بالإبرة الذكية للكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي المضغوط المضغوط الذي يتحكم فيه المحرك يحمي المسبار والعينة

• ◆ تحديد المواقع البصري التلقائي ، لا حاجة للتركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع منطقة مسح عينة التحقيق

  ◆ طريقة تعليق الربيع للصدمات ، بسيطة وعملية ، تأثير جيد للصدمات

  ◆ صندوق عازل للصوت محمي بالمعدن ، مستشعر درجة حرارة ورطوبة مدمج عالي الدقة ، مراقبة في الوقت الفعلي لبيئة العمل

• ◆ محرر مستخدم تصحيح غير خطي للماسح الضوئي المدمج ، توصيف نانومتر ودقة قياس أفضل من 98٪

• 

• 

• 

• 

• تخصيص	A62.4500	A622.4501	A62.4503	A62.4505
  نظام العمل	وضع التنصت [اختياري] وضع الاتصال وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي	وضع الاتصال وضع التنصت [اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي	وضع الاتصال وضع التنصت [اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي	وضع الاتصال وضع التنصت [اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي
  منحنى الطيف الحالي	منحنى RMS-Z [اختياري] منحنى قوة FZ	منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ	منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ	منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ
  نطاق المسح XY	20 × 20 ميكرومتر	20 × 20 ميكرومتر	50 × 50 ميكرومتر	50 × 50 ميكرومتر
  دقة المسح XY	0.2 نانومتر	0.2 نانومتر	0.2 نانومتر	0.2 نانومتر
  نطاق المسح Z	2.5 ميكرومتر	2.5 ميكرومتر	5um	5um
  دقة المسح ص	0.05 نانومتر	0.05 نانومتر	0.05 نانومتر	0.05 نانومتر
  سرعة المسح	0.6 هرتز ~ 30 هرتز	0.6 هرتز ~ 30 هرتز	0.6 هرتز ~ 30 هرتز	0.6 هرتز ~ 30 هرتز
  زاوية المسح	0 ~ 360 درجة	0 ~ 360 درجة	0 ~ 360 درجة	0 ~ 360 درجة
  حجم العينة	Φ≤90 ملم H≤20 ملم	Φ≤90 ملم H≤20 ملم	Φ≤90 ملم H≤20 ملم	Φ≤90 ملم H≤20 ملم
  XY المرحلة تتحرك	15 × 15 ملم	15 × 15 ملم	25 × 25 ميكرومتر	25 × 25 ميكرومتر
  تصميم ممتص للصدمات	تعليق الربيع	تعليق الربيع صندوق التدريع المعدني	تعليق الربيع صندوق التدريع المعدني	-
  نظام البصري	4x الهدف القرار 2.5um	4x الهدف القرار 2.5um	10x الهدف القرار 1um	العدسة 10x خطة إنفينيتي LWD APO 5x10x20x50x 5.0M كاميرا رقمية شاشة LCD مقاس 10 بوصة مع قياس إضاءة LED كوهلر التركيز البؤري الدقيق والخشن المحوري
  انتاج |	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0
  برمجة	فوز XP / 7/8/10	فوز XP / 7/8/10	فوز XP / 7/8/10	فوز XP / 7/8/10

• مجهر	مايكروسكوب بصري	ميكروسكوب الكتروني	مجهر المسح الضوئي
  الدقة القصوى (أم)	0.18	0.00011	0.00008
  ملاحظة	الغمر بالزيت 1500x	تصوير ذرات كربون الماس	تصوير ذرات كربون جرافيت عالية الترتيب

• دقق في تفاعل العينة	قياس الإشارة	معلومة
  القوة	القوة الكهروستاتيكية	شكل
  تيار النفق	تيار	الشكل والتوصيل
  القوة المغناطيسية	مرحلة	الهيكل المغناطيسي
  القوة الكهروستاتيكية	مرحلة	تهمة توزيع

• 	القرار	ظرف العمل	درجة حرارة العمل	الضرر للعينة	عمق التفتيش
  SPM	مستوى الذرة 0.1 نانومتر	عادي ، سائل ، فراغ	الغرفة أو درجة حرارة منخفضة	لا أحد	1 ~ 2 مستوى ذرة
  تيم	نقطة 0.3 ~ 0.5 نانومتر شعرية 0.1 ~ 0.2 نانومتر	فراغ عالي	درجة حرارة الغرفة	صغير	عادة <100 نانومتر
  SEM	6-10 نانومتر	فراغ عالي	درجة حرارة الغرفة	صغير	10 ملم @ 10x 1um @ 10000x
  فيم	مستوى الذرة 0.1 نانومتر	فراغ مرتفع للغاية	30 ~ 80 ك	ضمور	سمك الذرة

• 
•  
•  

•