مجهر بصري + قوة ذرية ، الكل في واحد
التصميم المتكامل للميكروسكوب البصري المعدني ومجهر القوة الذرية ، وظائف قوية
◆ يحتوي على وظائف مجهر ضوئي وتصوير مجهر القوة الذرية ، وكلاهما يمكن أن يعمل في نفس الوقت دون التأثير على بعضهما البعض
◆ في نفس الوقت ، له وظائف القياس البصري ثنائي الأبعاد وقياس مجهر القوة الذرية ثلاثي الأبعاد
-
تم دمج رأس الكشف عن الليزر ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومقاومة التداخل قوية
◆ جهاز تحديد موقع المسبار الدقيق ، ضبط محاذاة البقعة بالليزر سهل للغاية
-
◆ تقترب عينة القيادة أحادية المحور تلقائيًا من المسبار عموديًا ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع فحص العينة
طريقة التغذية بالإبرة الذكية للكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي المضغوط المضغوط الذي يتحكم فيه المحرك يحمي المسبار والعينة
-
◆ نظام تحديد المواقع البصري عالي التكبير لتحقيق تحديد المواقع بدقة للمسبار ومنطقة مسح العينة
◆ محرر مستخدم للتصحيح اللاخطي للماسح المدمج ، نانومتر
-
-
-
-
-
-
-
-
تخصيص |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
نظام العمل |
وضع التنصت
[اختياري] وضع الاتصال وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي |
وضع الاتصال وضع التنصت
[اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي |
وضع الاتصال وضع التنصت
[اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي |
وضع الاتصال وضع التنصت
[اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي |
منحنى الطيف الحالي |
منحنى RMS-Z
[اختياري] منحنى قوة FZ |
منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ |
منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ |
منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ |
نطاق المسح XY |
20 × 20 ميكرومتر |
20 × 20 ميكرومتر |
50 × 50 ميكرومتر |
50 × 50 ميكرومتر |
دقة المسح XY |
0.2 نانومتر |
0.2 نانومتر |
0.2 نانومتر |
0.2 نانومتر |
نطاق المسح Z |
2.5 ميكرومتر |
2.5 ميكرومتر |
5um |
5um |
دقة المسح ص |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
سرعة المسح |
0.6 هرتز ~ 30 هرتز |
0.6 هرتز ~ 30 هرتز |
0.6 هرتز ~ 30 هرتز |
0.6 هرتز ~ 30 هرتز |
زاوية المسح |
0 ~ 360 درجة |
0 ~ 360 درجة |
0 ~ 360 درجة |
0 ~ 360 درجة |
حجم العينة |
Φ≤90 ملم H≤20 ملم |
Φ≤90 ملم H≤20 ملم |
Φ≤90 ملم H≤20 ملم |
Φ≤90 ملم H≤20 ملم |
XY المرحلة تتحرك |
15 × 15 ملم |
15 × 15 ملم |
25 × 25 ميكرومتر |
25 × 25 ميكرومتر |
تصميم ممتص للصدمات |
تعليق الربيع |
تعليق الربيع صندوق التدريع المعدني |
تعليق الربيع صندوق التدريع المعدني |
- |
نظام البصري |
4x الهدف القرار 2.5um |
4x الهدف القرار 2.5um |
10x الهدف القرار 1um |
العدسة 10x خطة إنفينيتي LWD APO 5x10x20x50x 5.0M كاميرا رقمية شاشة LCD مقاس 10 بوصة مع قياس إضاءة LED كوهلر التركيز البؤري الدقيق والخشن المحوري |
انتاج | |
USB2.0 / 3.0 |
USB2.0 / 3.0 |
USB2.0 / 3.0 |
USB2.0 / 3.0 |
برمجة |
فوز XP / 7/8/10 |
فوز XP / 7/8/10 |
فوز XP / 7/8/10 |
فوز XP / 7/8/10 |
-
مجهر |
مايكروسكوب بصري |
ميكروسكوب الكتروني |
مجهر المسح الضوئي |
الدقة القصوى (أم) |
0.18 |
0.00011 |
0.00008 |
ملاحظة |
الغمر بالزيت 1500x |
تصوير ذرات كربون الماس |
تصوير ذرات كربون جرافيت عالية الترتيب |
|
|
|
-
دقق في تفاعل العينة |
قياس الإشارة |
معلومة |
القوة |
القوة الكهروستاتيكية |
شكل |
تيار النفق |
تيار |
الشكل والتوصيل |
القوة المغناطيسية |
مرحلة |
الهيكل المغناطيسي |
القوة الكهروستاتيكية |
مرحلة |
تهمة توزيع |
-
|
القرار |
ظرف العمل |
درجة حرارة العمل |
الضرر للعينة |
عمق التفتيش |
SPM |
مستوى الذرة 0.1 نانومتر |
عادي ، سائل ، فراغ |
الغرفة أو درجة حرارة منخفضة |
لا أحد |
1 ~ 2 مستوى ذرة |
تيم |
نقطة 0.3 ~ 0.5 نانومتر شعرية 0.1 ~ 0.2 نانومتر |
فراغ عالي |
درجة حرارة الغرفة |
صغير |
عادة <100 نانومتر |
SEM |
6-10 نانومتر |
فراغ عالي |
درجة حرارة الغرفة |
صغير |
10 ملم @ 10x 1um @ 10000x |
فيم |
مستوى الذرة 0.1 نانومتر |
فراغ مرتفع للغاية |
30 ~ 80 ك |
ضمور |
سمك الذرة |
-
-
-