|
A62.4510 |
A62.4511 |
نظام العمل |
وضع الاتصال وضع التنصت
[اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي |
وضع الاتصال وضع التنصت
[اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي |
منحنى الطيف الحالي |
منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ |
منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ |
وضع المسح الضوئي XY |
مسح ضوئي مدفوع ، ماسحة أنبوب بيزو |
عينة مسح مدفوعة ، مرحلة مسح التحول الكهروإجهادي ذات الحلقة المغلقة |
نطاق المسح XY |
70 × 70 ميكرومتر |
حلقة مغلقة 100 × 100um |
دقة المسح XY |
0.2 نانومتر |
حلقة مغلقة 0.5 نانومتر |
وضع المسح الضوئي Z |
|
فحص مدفوع |
نطاق المسح Z |
5um |
5um |
دقة المسح Z |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
سرعة المسح |
0.6 هرتز ~ 30 هرتز |
0.6 هرتز ~ 30 هرتز |
زاوية المسح |
0 ~ 360 درجة |
0 ~ 360 درجة |
وزن العينة |
≤ 15 كجم |
≤ 0.5 كجم |
حجم المرحلة |
قطر 100 ملم
[اختياري] Dia.200mm Dia.300mm |
قطر 100 ملم
[اختياري] Dia.200mm Dia.300mm |
المرحلة XY تتحرك |
100x100mm ، القرار 1um
[اختياري] 200x200 ملم 300x300 ملم |
100x100mm ، القرار 1um
[اختياري] 200x200 ملم 300x300 ملم |
المرحلة Z الانتقال |
15 ملم ، القرار 10 نانومتر [اختياري] 20 ملم 25 ملم |
15 ملم ، القرار 10 نانومتر [اختياري] 20 ملم 25 ملم |
تصميم ممتص للصدمات |
تعليق الربيع
[اختياري] نشط امتصاص الصدمات |
تعليق الربيع
[اختياري] نشط امتصاص الصدمات |
النظام البصري |
الهدف 5x 5.0M كاميرا رقمية
[اختياري] الهدف 10x الهدف 20x |
الهدف 5x 5.0M كاميرا رقمية
[اختياري] الهدف 10x الهدف 20x |
انتاج | |
USB2.0 / 3.0 |
USB2.0 / 3.0 |
برمجة |
فوز XP / 7/8/10 |
فوز XP / 7/8/10 |
الجسم الرئيسي |
رأس مسح جسري ، قاعدة رخامية |
رأس مسح جسري ، قاعدة رخامية |