مجهر القوة الذرية لمسح الطائرة

• تصميم رأس المسح الضوئي العملاقة ، وقاعدة الرخام ، ومرحلة الامتزاز بالفراغ ، وحجم العينة والوزن غير محدود بشكل أساسي
• A62.4510 + ماسحة تحويل ضغط مستقلة ثلاثية المحاور مغلقة الحلقة ، يمكنها المسح بدقة عالية في نطاق واسع
• طريقة التغذية الذكية بالإبرة مع الكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي الذي يتحكم فيه المحرك لحماية المجسات والعينات
• تحديد المواقع البصري التلقائي ، لا حاجة لضبط التركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد منطقة مسح عينة التحقيق
• مجهزة بدرع معدني مغلق ، وطاولة امتصاص الصدمات الهوائية ، وقدرة قوية على مقاومة التداخل

◆ أول مجهر تجاري للقوة الذرية في الصين لتحقيق مسح متحرك مشترك للمسبار والعينة ؛

◆ الأول في الصين الذي يستخدم طاولة مسح تحويل كهرضغطية ذات ثلاثة محاور مستقلة ذات حلقة مغلقة لتحقيق مسح ضوئي عالي الدقة على نطاق واسع ؛

مسح مستقل ثلاثي المحاور ، لا يؤثر XYZ على بعضها البعض ، وهو مناسب جدًا للكشف عن المواد ثلاثية الأبعاد والتضاريس ؛

التحكم الكهربائي في منضدة تحريك العينات وطاولة الرفع ، والتي يمكن برمجتها مع وضع متعدد النقاط لتحقيق الكشف التلقائي السريع ؛

تصميم رأس المسح الضوئي العملاقة ، وقاعدة الرخام ، وامتصاص الفراغ ومرحلة الامتزاز المغناطيسي ؛

◆ يتحكم المحرك تلقائيًا في طريقة تغذية الإبرة الذكية للكشف التلقائي عن السيراميك الكهروإجهادي لحماية المسبار والعينة ؛

تحديد المواقع بالمجهر الضوئي الإضافي عالي التكبير ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع المسبار ومنطقة مسح العينة ؛

◆ لا تتطلب مرحلة المسح الكهرضغطية ذات الحلقة المغلقة تصحيحًا غير خطي ، وتوصيف النانومتر ودقة القياس أفضل من 99.5٪.

• 

• 	A62.4510	A62.4511
  نظام العمل	وضع الاتصال وضع التنصت [اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي	وضع الاتصال وضع التنصت [اختياري] وضع الاحتكاك وضع المرحلة الوضع المغناطيسي الوضع الالكتروستاتيكي
  منحنى الطيف الحالي	منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ	منحنى RMS-Z منحنى قوة FZ
  وضع المسح الضوئي XY	مسح ضوئي مدفوع ، ماسحة أنبوب بيزو	عينة مسح مدفوعة ، مرحلة مسح التحول الكهروإجهادي ذات الحلقة المغلقة
  نطاق المسح XY	70 × 70 ميكرومتر	حلقة مغلقة 100 × 100um
  دقة المسح XY	0.2 نانومتر	حلقة مغلقة 0.5 نانومتر
  وضع المسح الضوئي Z		فحص مدفوع
  نطاق المسح Z	5um	5um
  دقة المسح Z	0.05 نانومتر	0.05 نانومتر
  سرعة المسح	0.6 هرتز ~ 30 هرتز	0.6 هرتز ~ 30 هرتز
  زاوية المسح	0 ~ 360 درجة	0 ~ 360 درجة
  وزن العينة	≤ 15 كجم	≤ 0.5 كجم
  حجم المرحلة	قطر 100 ملم [اختياري] Dia.200mm Dia.300mm	قطر 100 ملم [اختياري] Dia.200mm Dia.300mm
  المرحلة XY تتحرك	100x100mm ، القرار 1um [اختياري] 200x200 ملم 300x300 ملم	100x100mm ، القرار 1um [اختياري] 200x200 ملم 300x300 ملم
  المرحلة Z الانتقال	15 ملم ، القرار 10 نانومتر [اختياري] 20 ملم 25 ملم	15 ملم ، القرار 10 نانومتر [اختياري] 20 ملم 25 ملم
  تصميم ممتص للصدمات	تعليق الربيع [اختياري] نشط امتصاص الصدمات	تعليق الربيع [اختياري] نشط امتصاص الصدمات
  النظام البصري	الهدف 5x 5.0M كاميرا رقمية [اختياري] الهدف 10x الهدف 20x	الهدف 5x 5.0M كاميرا رقمية [اختياري] الهدف 10x الهدف 20x
  انتاج |	USB2.0 / 3.0	USB2.0 / 3.0
  برمجة	فوز XP / 7/8/10	فوز XP / 7/8/10
  الجسم الرئيسي	رأس مسح جسري ، قاعدة رخامية	رأس مسح جسري ، قاعدة رخامية

• مجهر	مايكروسكوب بصري	ميكروسكوب الكتروني	مجهر المسح الضوئي
  الدقة القصوى (أم)	0.18	0.00011	0.00008
  ملاحظة	الغمر بالزيت 1500x	تصوير ذرات كربون الماس	تصوير ذرات كربون جرافيت عالية الترتيب

• دقق في تفاعل العينة	قياس الإشارة	معلومة
  القوة	القوة الكهروستاتيكية	شكل
  تيار النفق	تيار	الشكل والتوصيل
  القوة المغناطيسية	مرحلة	الهيكل المغناطيسي
  القوة الكهروستاتيكية	مرحلة	تهمة توزيع

• 	القرار	ظرف العمل	درجة حرارة العمل	الضرر للعينة	عمق التفتيش
  SPM	مستوى الذرة 0.1 نانومتر	عادي ، سائل ، فراغ	الغرفة أو درجة حرارة منخفضة	لا أحد	1 ~ 2 مستوى ذرة
  تيم	نقطة 0.3 ~ 0.5 نانومتر شعرية 0.1 ~ 0.2 نانومتر	فراغ عالي	درجة حرارة الغرفة	صغير	عادة <100 نانومتر
  SEM	6-10 نانومتر	فراغ عالي	درجة حرارة الغرفة	صغير	10 ملم @ 10x 1um @ 10000x
  فيم	مستوى الذرة 0.1 نانومتر	فراغ مرتفع للغاية	30 ~ 80 ك	ضمور	سمك الذرة

• 
•  
•  

•