|
▶ميزات A64.5401 1) لا يحتاج برنامج القياس والتحليل مع التشغيل المتكامل إلى تبديل الواجهة للتشغيل ، ويتم تعيين معلمات التكوين مسبقًا قبل القياس.يقوم البرنامج تلقائيًا بحساب بيانات القياس ويوفر وظيفة تصدير تقرير البيانات ، والتي يمكنها تحقيق وظيفة قياس الدُفعات بسرعة. 2) توفير وظيفة القياس التلقائي متعدد المناطق ، وقياس الدُفعات ، والتركيز التلقائي ، وتعديل السطوع التلقائي والوظائف التلقائية الأخرى. 3) توفير وظيفة قياس خياطة. 4) توفير وظائف معالجة البيانات للوحدات النمطية الأربعة لتعديل الوضع والتصحيح والتصفية والاستخراج.يتضمن ضبط الموضع وظائف مثل تسوية الصورة والانعكاس ؛يشمل التصحيح وظائف مثل الترشيح المكاني والتنقيح وتقليل الضوضاء عند الذروة ؛يشمل الترشيح وظائف مثل إزالة الشكل ، والتصفية القياسية ، والترشيح الطيفي ؛يتضمن الاستخراج وظائف مثل استخراج المناطق واستخراج ملفات التعريف. 5) توفير خمس وظائف تحليل رئيسية بما في ذلك تحليل المظهر الجانبي الهندسي وتحليل الخشونة وتحليل الهيكل وتحليل التردد وتحليل الوظائف.من بينها ، يتضمن تحليل المظهر الجانبي الهندسي ميزات مثل ارتفاع الخطوة والمسافة والزاوية والانحناء والوظائف الأخرى والاستقامة وتقييم التسامح الاستدارة ووظائف أخرى ؛يتضمن تحليل خشونة الخط وفقًا للمعايير الدولية ISO4287 ، وخشونة السطح ISO25178 ، ودرجة التسوية ISO12781 ووظائف تحليل المعلمات الكاملة الأخرى ؛يشمل التحليل الهيكلي حجم المسام وعمق الحوض ، وما إلى ذلك ؛يتضمن تحليل التردد وظائف مثل اتجاه النسيج وتحليل الطيف ؛يتضمن التحليل الوظيفي وظائف مثل معلمات SK ومعلمات الحجم. 6) توفير وظائف التحليل المساعدة مثل التحليل بمفتاح واحد وتحليل متعدد الملفات ، وتعيين قوالب التحليل ، جنبًا إلى جنب مع وظائف القياس التلقائي وقياس الدُفعات المتوفرة في القياس ، ويمكنه تحقيق قياس الدُفعات للأجهزة الدقيقة صغيرة الحجم ومباشرة الحصول على بيانات التحليل. |
|
المجهر متحد البؤر هو أداة اختبار تستخدم لقياس النانومتر لمختلف الأجهزة والمواد الدقيقة.يعتمد على مبدأ التكنولوجيا البؤرية ، جنبًا إلى جنب مع تقنية المسح المتوازي للقرص المسامي ، ووحدة المسح الدقيق لاتجاه Z ، وخوارزمية النمذجة ثلاثية الأبعاد ، وما إلى ذلك لإجراء مسح ضوئي بدون اتصال على سطح الجهاز وإنشاء صورة ثلاثية الأبعاد للسطح.يتم تنفيذ الصورة ثلاثية الأبعاد لسطح الجهاز من خلال برنامج النظام.معالجة البيانات وتحليلها ، والحصول على معلمات ثنائية وثلاثية الأبعاد تعكس جودة سطح الجهاز ،لذا بالنسبة لتحقيق أداة الفحص البصري للقياس ثلاثي الأبعاد لتضاريس سطح الجهاز. |
| A64.5401 ورقة المواصفات الفنية المجهر متحد البؤر | ||
| مبدأ القياس | نظام بصري متحد البؤر | |
| عدسة المجهر الشيئية | 10 × (قياسي) ، 20 × ، 50 × ، 100 × (اختياري) | |
| مجال الرؤية | 160 × 160 ميكرومتر ~ 1.6 × 1.6 ملم | |
| معدل إطار المسح * 1 | ≥10 هرتز | |
| قياس الارتفاع | التكرار * 2 | 20 ×: 40 نانومتر ؛50 ×: 20 نانومتر ؛100 ×: 20 نانومتر |
| الدقة * 2 | ± (0.2 + L / 100) ميكرومتر | |
| دقة العرض | 0.5 نانومتر | |
| قياس العرض | التكرار * 3 | 20 ×: 100 نانومتر ؛50 ×: 50 نانومتر ؛100 ×: 30 نانومتر |
| الدقة * 3 | ± 2٪ | |
| دقة العرض | 1 نانومتر | |
| منصة الإزاحة XY | مقاس | 210 × 210 مم |
| تتحرك المدى | 100 × 100 مم | |
| حمولة | 10 كجم | |
| طريقة التحكم | كهربائي | |
| نطاق حركة الاتجاه Z | 100 ملم | |
| برج العدسة الموضوعي | 5 ثقوب بمحرك | |
| إضاءة | مصدر ضوء | قاد |
| الطاقة الانتاجية القصوى | 840 ميجاوات | |
| أبعاد | 590 × 390 × 540 مم | |
| الوزن الكلي | 45 كجم | |
| مزود الطاقة | AC220V / 50 هرتز | |
| بيئة العمل | درجة الحرارة 10℃~ 35℃، تدرج درجة الحرارة <1℃/ 15 دقيقة ، الرطوبة 30 ~ 80٪ ، الاهتزاز <0.002 جم ، أقل من 15 هرتز | |
| ملاحظة: * 1 استخدم عدسة 20x لقياس كتلة عينة قياسية 4.7 ميكرومتر في درجة حرارة محيطة تبلغ 20 ± 2 درجة مئوية. * 2 قم بقياس كتلة العينة القياسية 4.7 ميكرومتر عند درجة حرارة محيطة تبلغ 20 ± 2 درجة مئوية باستخدام عدسة 20 مرة أو أكثر. * 3 استخدم عدسة 20 مرة أو أكثر لقياس عينة الشبكية القياسية عند درجة حرارة محيطة تبلغ 20 ± 2 درجة مئوية. |
||
| مواصفات العدسة الموضوعية | مجال الرؤية النموذجي لمسافة العمل (WD) الفتحة العددية (نسبة غير معلومة) | |
| 10x 1600 × 1600 ميكرومتر 10.6 مم 0.25 | ||
| 20X 800 × 800 ميكرومتر 1.3 مم 0.40 | ||
| 50 × 320 × 320 ميكرومتر 0.38 مم 0.75 | ||
| 100 × 160 × 160 ميكرومتر 0.21 ملم 0.90 | ||
| قائمة تكوين المنتج التكوين القياسي: |
1) A64.5401 الجسم الرئيسي | |
| 2) مرحلة الإزاحة XY: مرحلة الإزاحة التلقائية | ||
| 3) كمبيوتر العلامة التجارية | ||
| 4) وحدة معايرة النظام | ||
| 5) عصا التحكم | ||
| 6) برنامج مجهر متحد البؤر | ||
| 7) صندوق ملحقات الصك | ||
| 8) دليل المنتج | ||
| 9) شهادة المنتج ، بطاقة الضمان | ||
| خياري | 1) قياس العدسة الشيئية: 20 × ، 50 × ، 100 × | |
| 2) طاولة شفط فراغ (لرقائق أشباه الموصلات): 6 بوصات ، 8 بوصات ؛ | ||
| 3) وحدة قياس قياس الربط التلقائي (تتطلب دعم الأجهزة) | ||
|
أداء ميزات تضاريس السطح مثل ملامح السطح ، وعيوب السطح ، وظروف التآكل ، وظروف التآكل ، والتسطيح ، والخشونة ، والتموج ، وثغرات المسام ، والارتفاعات المتدرجة ، وتشوهات الانحناء ، وظروف المعالجة لمختلف المنتجات والمكونات والمواد.القياس والتحليل. |
|
▶4.1 دقة عالية وتكرار عالي يضمن نظام القياس المكون من مستشعرات التصوير منخفضة الضوضاء والمكونات والتشفير البصري عالي الأداء وخوارزميات إعادة البناء ثلاثية الأبعاد الممتازة القياس الذي يفي بالمعايير ؛متجذرًا في صناعة القياس لسنوات عديدة ، يضمن نفس خط التصميم الصناعي ومستوى المعالجة الأعلى مستوى عالٍ من تكرار القياس. |
|
▶4.2 المسح المتوازي عالي السرعة يعمل المسح المتوازي متعدد النقاط للملف الجانبي باستخدام القرص المسامي على تحسين كفاءة العمل بشكل كبير مقارنة بنظام المسح التقليدي أحادي النقطة للجلفانومتر ، ويمكن إكمال المسح في بضع ثوانٍ فقط. |
|
▶4.3 القدرة القوية على التكيف يحتوي نظام القياس على نطاق ديناميكي فائق الارتفاع لأوضاع العينات المختلفة وتعقيد السطح وانعكاس السطح.
▶4.4 برمجيات القياس والتحليل المتكاملة 1) يتم تشغيل القياس والتحليل على نفس الواجهة ، بدون تبديل ، يتم حساب بيانات القياس تلقائيًا ، ويتم تحقيق وظيفة القياس السريع للدفعة ؛ 2) النافذة المرئية مريحة للمستخدمين لمراقبة عملية المسح في الوقت الحقيقي ؛ 3) بالاقتران مع وظيفة القياس التلقائي لقالب التحليل المخصص ، يمكن أن يكمل تلقائيًا عملية القياس والتحليل متعددة المناطق ؛ 4) اكتملت الوحدات الوظيفية الخمسة للتحليل الهندسي ، وتحليل الخشونة ، وتحليل الهيكل ، وتحليل التردد ، وتحليل الوظائف ؛ 5) يتم حفظ التحليل بنقرة واحدة والتحليل متعدد الملفات وعناصر التحليل المجمعة بحرية كقوالب تحليل وتحليل بنقرة واحدة لعينات الدُفعات وتحليل البيانات ووظائف المخطط الإحصائي ؛ 6) يمكن قياس أكثر من 300 معلمة ثنائية وثلاثية الأبعاد وفقًا لمعايير ISO / ASME / EUR / GBT وغيرها من المعايير. |
|
▶4.5 المقود الدقيق يمكن لعصا التحكم المدمجة مع وظيفة ضبط الإزاحة في الاتجاهات الثلاثة X و Y و Z إكمال عمل القياس المسبق بسرعة مثل ترجمة المرحلة والتركيز على اتجاه Z.
▶4.6 تصميم مضاد للتصادم تجنب تلف العدسة الشيئية والجسم المراد قياسه بسبب الاصطدام الناجم عن التشغيل الخاطئ.
▶4.7 مجهر كهربائي بالكامل مجهزة بسلسلة من الأجزاء الكهربائية ، تعمل هذه الأجزاء الكهربائية المتصلة بشكل وثيق معًا لجعل المراقبة سريعة وبسيطة. |
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
