| A63.7080A63.7081 الوظيفة الرئيسية للبرمجيات | ||
| التشغيل المتكامل للجهد العالي | الحزام الآلي يعمل / لا يعمل | تنظيم المناوبات المحتملة |
| تعديل الوضوح | التحكم الكهربائي إلى المركزي | السطوع التلقائي |
| تعديل التباين | تعديل العدسة | التركيز التلقائي |
| تعديل تكبير | إزالة الغازات | القضاء الآلي على العصبية |
| وضع مسح المنطقة المحدد | ضبط الدوران الكهربائي | إدارة معايير المجهر |
| وضع مسح النقطة | تعديل تحريك شعاع الإلكترونات | عرض في الوقت الحقيقي لحجم حقل المسح |
| وضع مسح الخط | تعديل ميل شعاع الإلكترون | تعديل عدسة السلاح |
| مسح السطح | ضبط سرعة المسح | مدخلات متعددة القنوات |
| مراقبة الطاقة عالية الجهد | مركزية التأرجح | قياس القائمة |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| القرار | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV ((SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV ((SE) 3.0nm@1KV ((SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| التكبير | 1x~450000xالتكبير الحقيقي السلبي | 1x~600000x، التكبير الحقيقي السلبي | 1x ~ 3000000x التكبير الحقيقي السلبي |
| سلاح الإلكترون | غطاء الخيوط التنغستينية المتمركزة مسبقاً | بندقية انبعاثات ساحة شوتكي | بندقية انبعاثات ساحة شوتكي |
| الجهد | تشغيل الجهد 0230kV ، قابل للتعديل المستمر ، خطوة تعديل 100V@0-10Kv ، 1KV@10-30KV | ||
| عرض سريع | وظيفة عرض الصورة السريعة مفتاح واحد | لا | لا |
| نظام العدسة | عدسة كهرومغناطيسية ذات ثلاثة مستويات | عدسة كهرومغناطيسية ذات مستويات متعددة | |
| فتحة | 3 موليبدينوم فتحات الهدف، قابلة للتعديل خارج نظام الفراغ، لا حاجة لتفكيك الهدف لتغيير فتحة | ||
| نظام الفراغ | 1 مضخة جزئية توربو 1 مضخة ميكانيكية فراغ غرفة العينة>2.6E-3Pa فراغ غرفة مسدس الإلكترونات >2.6E-3Pa التحكم التلقائي بالكامل في الفراغ وظيفة القفل الفراغية نموذج اختياري: A63.7069-LV 1 مضخة جزئية توربو 2مضخات ميكانيكية فراغ غرفة العينة>2.6E-3Pa فراغ غرفة مسدس الإلكترونات >2.6E-3Pa التحكم التلقائي بالكامل في الفراغ وظيفة القفل الفراغية فراغ منخفضنطاق 10 ~ 270Pa للتبديل السريع في 90 ثانية لـ BSE ((LV) |
1 مجموعة مضخات الأيونات 1 مضخة جزئية توربو 1 مضخة ميكانيكية فراغ غرفة العينة> 6E-4Pa الفراغ في غرفة مسدس الإلكترونات>2E-7 Pa التحكم التلقائي بالكامل في الفراغ وظيفة القفل الفراغية |
1 مضخة الأيونات 1 مضخة مركبات الأيونات Getter 1 مضخة جزئية توربو 1 مضخة ميكانيكية فراغ غرفة العينة> 6E-4Pa الفراغ في غرفة مسدس الإلكترونات>2E-7 Pa التحكم التلقائي بالكامل في الفراغ وظيفة القفل الفراغية |
| كاشف | الشرق الأوسط: كاشف إلكترون ثانوي عالي الفراغ (مع حماية الكاشف) | الشرق الأوسط: كاشف إلكترون ثانوي عالي الفراغ (مع حماية الكاشف) | الشرق الأوسط: كاشف إلكترون ثانوي عالي الفراغ (مع حماية الكاشف) |
| BSE: نصف الموصلات 4 التقسيم كاشف التشتت الخلفي |
اختياري | اختياري | |
| نموذج اختياري: A63.7069-LV BSE ((LV): أشباه الموصلات 4 التقسيم كاشف التشتت الخلفي |
|||
| (سي سي دي):كاميرا CCD تحت الحمراء | (سي سي دي):كاميرا CCD تحت الحمراء | (سي سي دي):كاميرا CCD تحت الحمراء | |
| تمديد الميناء | 2 توسيع الموانئ على غرفة العينة ل الـ EDS ، BSD ، WDS ، الخ |
4 تمديد الموانئ على غرفة العينة ل BSE، EDS، BSD، WDS الخ |
4 تمديد الموانئ على غرفة العينة ل BSE، EDS، BSD، WDS الخ |
| مرحلة العينة | 5 محاور مرحلة 4السيارات+ 1الدليلالتحكم نطاق السفر: X=70mm، Y=50mm، Z=45mm، R=360°، T=-5°~+90° ((اليدوي) وظيفة التنبيه والإيقاف نموذج اختياري: A63.7069-L5 محاور السلسلة الكبيرة |
5 محاورالسيارات الوسطالمرحلة نطاق السفر: X=80mm، Y=50mm، Z=30mm، R=360°، T=-5°~+70° وظيفة التنبيه والإيقاف نموذج اختياري: A63.7080-L5 محاورالسيارات كبيرةالمرحلة |
5 محاورالسيارات كبيرةالمرحلة نطاق السفر: X=150mm، Y=150mm، Z=60mm، R=360°، T=-5°~+70° وظيفة التنبيه والإيقاف |
| الحد الأقصى للعينات | قطر 175ملم، ارتفاع 35ملم | قطر 175 ملم، ارتفاع 20 ملم | قطر 340 ملم، ارتفاع 50 ملم |
| نظام الصورة | صورة ثابتة حقيقية بدقة 4096×4096 بكسل تنسيق ملف الصورة: BMP ((المعيار الافتراضي) ، GIF، JPG، PNG، TIF |
الصورة الثابتة الحقيقية بدقة قصوى 16384 × 16384 بكسل تنسيق ملف الصورة: TIF ((المقصود) ، BMP، GIF، JPG، PNG فيديو: تسجيل تلقائي رقمي.فيديو AVI |
الصورة الثابتة الحقيقية بدقة قصوى 16384 × 16384 بكسل تنسيق ملف الصورة: TIF ((المقصود) ، BMP، GIF، JPG، PNG فيديو: تسجيل تلقائي رقمي.فيديو AVI |
| الحاسوب والبرمجيات | محطة عمل حاسوبية نظام Win 10، مع برنامج تحليل الصور المهنية للسيطرة الكاملة على عملية المجهر SEM بأكملها، مواصفات الكمبيوتر لا تقل عن Inter I5 3.2GHz، ذاكرة 4G،شاشة LCD IPS 24 ", 500G القرص الصلب, الماوس, لوحة المفاتيح | ||
| عرض الصور | مستوى الصورة غني ودقيق، يظهر تكبير في الوقت الحقيقي، الحاكم، الجهد، المنحنى الرمادي | ||
| البعد الوزن |
جسد المجهر 800x800x1850ملم طاولة العمل 1340x850x740mm الوزن الإجمالي 400 كجم |
جسم المجهر 800x800x1480mm طاولة العمل 1340x850x740mm الوزن الإجمالي 450 كجم |
جسم المجهر 1000x1000x1730ملم طاولة العمل 1330x850x740mm الوزن الإجمالي 550 كجم |
| الملحقات الاختيارية | |||
| الملحقات الاختيارية | A50.7002طيف الأشعة السينية المتشتت للطاقة EDS A50.7011غطاء التبويض بالأيونات |
A50.7001جهاز الكشف عن الإلكترونات المتناثرة A50.7002طيف الأشعة السينية المتشتت للطاقة EDS A50.7011غطاء التبويض بالأيونات A50.7030لوحة التحكم في المحرك |
A50.7001جهاز الكشف عن الإلكترونات المتناثرة A50.7002طيف الأشعة السينية المتشتت للطاقة EDS A50.7011غطاء التبويض بالأيونات A50.7030لوحة التحكم في المحرك |
| A50.7001 | كاشف لـ BSE | كاشف إعادة التشتت لأربعة أجزاء من أشباه الموصلات؛ المتوفر في المكونات A + B ، المعلومات المورفولوجية A-B ؛ عينة متاحة لمراقبة دون رش الذهب. متاحة في مراقبة النظافة والتوزيع من خريطة الحجم الرمادي مباشرة. |
| A50.7002 | جهاز الكشف عن الأشعة السينية (EDS) | نتريد السيليكون (Si3N4) نافذة لتحسين نقل الأشعة السينية منخفضة الطاقة لتحليل العناصر الخفيفة. الدقة الممتازة والإلكترونيات المتقدمة منخفضة الضوضاء توفر أداءً ممتازًا البصمة الصغيرة توفر المرونة لضمان الهندسة المثالية وظروف جمع AATA ؛ أجهزة الكشف تحتوي على رقاقة 30 ملم مربع |
| A50.7003 | EBSD (تقطيع شعاع الإلكترونات المتناثر) | يمكن للمستخدم تحليل التوجه الكريستالي، والمرحلة الكريستالية والملمس المجهري للمواد وأداء المواد ذات الصلة، الخ. تحسين تلقائي لإعدادات الكاميرا EBSD أثناء جمع البيانات، القيام بتحليل تفاعلي في الوقت الحقيقي للحصول على أقصى قدر من المعلومات جميع البيانات كانت تحمل علامة زمنية يمكن عرضها في أي وقت دقة عالية 1392 × 1040 × 12 سرعة الفحص والمؤشر: 198 نقطة / ثانية ، مع Ni كمعيار ، في ظل حالة 2 ~ 5nA ، يمكن أن يضمن معدل المؤشر ≥99٪ ؛ يعمل بشكل جيد في حالة التيار الضوئي المنخفض والجهد المنخفض من 5kV عند 100pA دقة قياس التوجه: أفضل من 0.1 درجة باستخدام نظام مؤشر ثلاثي: لا حاجة إلى الاعتماد على تعريف النطاق الواحد ، فهرسة سهلة لجودة نمط ضعيفة قاعدة بيانات مخصصة: قاعدة بيانات خاصة من EBSD تم الحصول عليها عن طريق انقسام الإلكترونات: >400 هيكل مرحلي قدرة المؤشر: يمكنها مؤشر جميع المواد البلورية من 7 أنظمة البلورات تلقائيًا. تشمل الخيارات المتقدمة حساب الصلابة المرنة (الصلابة المرنة) ، عامل تايلور (تايلر) ، عامل شميدت (شميد) وهلم جرا. |
| A50.7010 | آلة طلاء | غلاف الزجاج الحامي: 250 ملم ، 340 ملم عالية غرفة معالجة الزجاج: 88ملم، 140ملم ارتفاع، 88ملم، 57ملم ارتفاع حجم مرحلة العينة: 40 ملم (على الأكثر). نظام الفراغ: مضخة جزيئات ومضخة ميكانيكية كشف الفراغ: مقياس بيراني. الفراغ:أفضل من 2 × 10-3 Pa ؛ الحماية من الفراغ:20 Pa مع صمام تضخم على نطاق صغير. حركة العينة: تدوير الطائرة، تحرك الميل. |
| A50.7011 | غطاء التبويض بالأيونات | غرفة معالجة الزجاج: 100 ملم ؛ 130 ملم ارتفاع حجم مرحلة العينة: 40 ملم ((حمل 6 أكواب العينة) ؛ الهدف الذهبي الحجم: 58 ملم * 0.12 ملم ((سمك) ؛ كشف الفراغ: مقياس بيراني. الحماية من الفراغ:20 Pa مع صمام تضخم على نطاق صغير. الغاز المتوسط: الأرغون أو الهواء مع مدخل هواء خاص للغاز الأرغون والغاز المنظم على نطاق صغير. |
| A50.7012 | طلاء رذاذ الأيونات الأرجونية | عينة تم طبقتها بالكربون والذهب تحت فراغ عال جدول عينة قابل للتدوير، طلاء موحد، حجم الجسيمات حوالي 3-5 نانومتر؛ لا يوجد اختيار للمواد المستهدفة، لا يوجد ضرر للعينات يمكن تحقيق وظائف تنظيف الأيونات وتخفيف الأيونات. |
| A50.7013 | مجفف النقطة الحرجة | القطر الداخلي: 82 ملم، الطول الداخلي: 82 ملم. نطاق الضغط:0-2000psi نطاق درجة الحرارة: 0-50 درجة مئوية (32 درجة إلى 122 درجة فهرنهايت) |
| A50.7014 | الرسم الحجري بالشعاع الإلكتروني | استناداً إلى المجهر الإلكتروني المسح، تم تطوير نظام جديد للتعرض للنانو. لقد حافظ التعديل على جميع وظائف الـ (سيم) لصنع صورة عرض خط نانو يتم تطبيق نظام Ebl المعدل على نطاق واسع في الأجهزة الإلكترونية الدقيقة والأجهزة الإلكترونية الضوئية وأجهزة الكوانتون وبحوث وتطوير أنظمة الإلكترونيات الدقيقة. |
| A63.7080، A63.7081 المواد الاستهلاكية القياسية | |||
| 1 | شعاع انبعاث الحقل | تثبيت في المجهر | 1 كم |
| 2 | كأس العينة | قطر 13ملم | 5 أجزاء |
| 3 | كأس العينة | شاشة 32 ملم | 5 أجزاء |
| 4 | شريط كربوني مزدوج الجانب الموصل | 6 ملم | 1 حزمة |
| 5 | زيت الفراغ | 10 أجزاء | |
| 6 | قماش بلا شعر | 1 أنبوب | |
| 7 | معجون للتلميع | 1 كم | |
| 8 | مربع العينة | 2 أكياس | |
| 9 | غسول القطن | 1 كم | |
| 10 | فلتر ضباب الزيت | 1 كم | |
| A63.7080، A63.7081 أدوات وقطع غيار قياسية | |||
| 1 | المفتاح الداخلي للهكساجون | 1.5mm~10mm | 1 مجموعة |
| 2 | البنسة | الطول 100-120 ملم | 1 كم |
| 3 | مفك المسامير | 2*50ملم، 2*125ملم | 2 أجزاء |
| 4 | مفك الحبال | 2 × 125MM | 1 كم |
| 5 | أنابيب التهوية النظيفة | قطر 10/6.5mm ((قطر خارجية / قطر داخلي) | 5 م |
| 6 | صمام خفض ضغط التهوية | ضغط الخروج 0-0.6MPa | 1 كم |
| 7 | إمدادات طاقة الخبز الداخلية | 0-3A DC | 2 أجزاء |
| 8 | إمدادات الطاقة UPS | 10kVA | 2 أجزاء |
| أداة إعداد عينات المجهر الإلكتروني للمسح | ||