| مجهر التنغستن لمسح الخيوط الإلكترونية (SEM) |
| | A63.7006 | A63.7015 |
| القرار | 15nm @ 30KV (SE) | 5 نانومتر @ 30 كيلو فولت (جنون البقر) |
| تكبير | 20x 60000x | 20x ~ 150000x |
| بندقية الكترون | خرطوشة خيوط التنجستن المركزة مسبقًا ، نظام أوتوماتيكي للجهد المتحيز |
| الجهد االكهربى | تسريع الجهد 1KV إلى 30KV ،
خطوات 1KV / 5KV / 10KV / 15KV / 20KV / 30KV-6 |
| نظام العدسة | عدسة مكثف كهرومغناطيسي بمرحلتين ،
عدسة موضوعية كهرومغناطيسية ذات مرحلة واحدة |
| فتحة | - | غشاء قزحية قابل للتعديل 30/50/50 / 100um ، قم بتغيير الشعاع الكهربائي للحصول على صورة عالية الدقة |
| نظام الشفط | مضخة دوارة ، 100 لتر / دقيقة
مضخة توربو الجزيئية ، 70 لتر / ثانية
وقت الضخ أقل من 3 دقائق
تحكم آلي بالكامل في الفراغ |
| كاشف | SE: كاشف الإلكترون الثانوي |
| مرض جنون البقر: كاشف التشتت الخلفي (اختياري) |
| EDS: (اختياري) |
| مرحلة عمل العينة | نظام 3 محاور ، X ، محور Y: 35mm / R- محور: 360 ° | نظام خماسي المحاور ، X ، المحور Y: 35 مم / المحور R: 360 درجة ، Z: 0 ~ 22 مم / محور الإمالة: 0 ~ 45 درجة |
| ماكس عينة | 70 ملم في القطر ، 30 ملم في الارتفاع | 80 ملم في القطر ، 35 ملم في الارتفاع |
| تحول الصورة | X ، Y Image Shift ± 150um |
| نظام مسح الصور | مسح سريع: 320 × 240 (وقت المسح: 0.1 ثانية)
المسح البطيء: 640 × 480 (وقت المسح: 3 ثوان)
وضع الصورة 1: 1280 × 960
وضع الصورة 2: 2560 × 1920
وضع الصورة 3: 5120 × 3840 |
| شكل صورة | BMP ، JPEG ، PNG ، TIFF |
| وظيفة تلقائية | البدء التلقائي ، التركيز التلقائي ، السطوع / التباين التلقائي |
| عرض الصور | التكبير ، نوع الكاشف ، تسريع الجهد ، وضع الفراغ ، الشعار (النص) ، التاريخ والوقت ، علامة النص ، شريط القياس ، إلخ. |
| برامج الكمبيوتر | نظام Win 10 للكمبيوتر الشخصي ، مع برنامج تحليل الصور الاحترافي للتحكم الكامل في تشغيل مجهر SEM بالكامل ، مواصفات الكمبيوتر لا تقل عن Inter I5 3.2GHz ، ذاكرة 4G ، شاشة IPS LCD 24 بوصة ، قرص صلب 500G ، ماوس ، لوحة مفاتيح |
| الحجم والوزن | جسم المجهر 460x600x950mm ، الوزن الإجمالي 95 كجم |
| A63.7006 ، A63.7015 الأدوات القياسية وتجهيز الأجزاء |
| 1 | خيوط التنغستن المتمركزة مسبقًا | 5 قطعة / صندوق |
| 2 | عينة المرحلة ديا.15 ملم | 10 قطع |
| 3 | عينة المرحلة ديا.25 ملم | 10 قطع |
| 4 | عينة المرحلة ديا.15 مم 45 درجة إمالة | 5 قطع |
| 5 | عينة المرحلة ديا.15 مم 90 درجة إمالة | 5 قطع |
| 6 | ارتفاع قياسي ماجستير | حاسب شخصي 1 |
| 7 | مفتاح مسدس | 1 مجموعة |
| 8 | قرص مضغوط لبرنامج SEM | حاسب شخصي 1 |
| 9 | شريط موصل الكربون) | حاسب شخصي 1 |
| 10 | مقص | حاسب شخصي 1 |
| 11 | أوريلاف | حاسب شخصي 1 |
| 12 | ملاقيط | حاسب شخصي 1 |
