◆ تصميم مصغر وقابل للفصل ، سهل الحمل للغاية والتدريس في الفصول الدراسية
تم دمج رأس الكشف ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومقاومة التداخل قوية
◆ تقترب عينة القيادة أحادية المحور تلقائيًا من المسبار عموديًا ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع فحص العينة
طريقة التغذية بالإبرة الذكية للكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي المضغوط المضغوط الذي يتحكم فيه المحرك يحمي المسبار والعينة
نظام مراقبة CCD الجانبي ، والمراقبة في الوقت الفعلي لحالة إدخال إبرة المجس وتحديد موضع منطقة مسح عينة المجس
◆ طريقة تعليق الربيع للصدمات ، بسيطة وعملية ، تأثير جيد للصدمات
◆ محرر مستخدم تصحيح غير خطي للماسح الضوئي المدمج ، توصيف نانومتر ودقة قياس أفضل من 98٪
A61.4510 | |
نظام العمل | وضع الارتفاع الثابت الوضع الحالي المستمر |
منحنى الطيف الحالي | منحنى الرابع منحنى المسافة الحالية |
نطاق المسح XY | 5 × 5um |
دقة المسح XY | 0.05 نانومتر |
نطاق المسح Z | 1um |
دقة المسح ص | 0.01 نانومتر |
سرعة المسح | 0.1 هرتز ~ 62 هرتز |
زاوية المسح | 0 ~ 360 درجة |
حجم العينة | Φ≤68 ملم H≤20 ملم |
XY المرحلة تتحرك | 15 × 15 ملم |
تصميم ممتص للصدمات | تعليق الربيع |
نظام البصري | 1 ~ 500x تكبير مستمر |
انتاج | | USB2.0 / 3.0 |
برمجة | فوز XP / 7/8/10 |
مجهر | مايكروسكوب بصري | ميكروسكوب الكتروني | مجهر المسح الضوئي |
الدقة القصوى (أم) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
ملاحظة | الغمر بالزيت 1500x | تصوير ذرات كربون الماس | تصوير ذرات كربون جرافيت عالية الترتيب |
دقق في تفاعل العينة | قياس الإشارة | معلومة |
القوة | القوة الكهروستاتيكية | شكل |
تيار النفق | تيار | الشكل والتوصيل |
القوة المغناطيسية | مرحلة | الهيكل المغناطيسي |
القوة الكهروستاتيكية | مرحلة | تهمة توزيع |
القرار | ظرف العمل | درجة حرارة العمل | الضرر للعينة | عمق التفتيش | |
SPM | مستوى الذرة 0.1 نانومتر | عادي ، سائل ، فراغ | الغرفة أو درجة حرارة منخفضة | لا أحد | 1 ~ 2 مستوى ذرة |
تيم | نقطة 0.3 ~ 0.5 نانومتر شعرية 0.1 ~ 0.2 نانومتر |
فراغ عالي | درجة حرارة الغرفة | صغير | عادة <100 نانومتر |
SEM | 6-10 نانومتر | فراغ عالي | درجة حرارة الغرفة | صغير | 10 ملم @ 10x 1um @ 10000x |
فيم | مستوى الذرة 0.1 نانومتر | فراغ مرتفع للغاية | 30 ~ 80 ك | ضمور | سمك الذرة |