المجهر الإلكتروني للانبعاثات الميدانية (TEM) ، 200KV، 1500000x |
الجهد المتسارع |
200 كيلو فولت، مصنع متوازنة في 80 كيلو فولت و 200 كيلو فولت |
مصدر الإلكترون |
مصدر حقل شوتكي عالي الوضوح |
تيار المسبار |
≥ 1.5nA/1nm المسبار |
تيار الشعاع |
الحد الأقصى ≥ 50nA عند 200kV |
دقة خط TEM |
0.23 نون |
الحد الأقصى لمعلومات TEM |
0.2 nm |
التكبير |
20x إلى 1500000x. |
مسدس FEG الفراغ |
< 1x10-6Pa، |
الفراغ في العمود TEM |
< 5x10-5Pa |
غونيومتر |
غونيومتر غريب تماما مع جميع المحاور الخمسة المحرك |
الكاميرا |
كاميرا CMOS ذات السرعة 20M معززة في الأسفل EMSIS XAROSA 5120x3840 |
المرحلة |
حامل المرحلة المزدوجة |
X ± 1mm، Y ± 1mm، Z ± 0.35mm، α ± 25°، β ± 25° |
قابلة للتحديث |
STEM، عينات التبريد، التصوير الصوتي، تحليل EDS |
الضمان |
الضمان سنة واحدة (1) |
الملحقات الاختيارية |
التثبيت |
حزمة خدمات التثبيت في الموقع والتدريب التشغيلي اختياري |
STEM |
كاشف PNDetector كاشف STEM الحلقية، الوحدة المتقدمة ADV-STEM (بما في ذلك STEM-HAADF و BF) |
إد.إس. |
بروكر XFlash 7T30S |
حامل التصوير الصوتي |
1.. حجم العينة: φ3mm. |
2نطاق الانحناء ألفا: ± 70 درجة. |
3الدقة: ≤0.34nm (في أي اتجاه). |
4معدل الانجراف: <1.5nm/min |
5مجال الرؤية: ≥1.6mm@70° ميل. |
حامل عينة التبريد |
حامل عينة التبريد: |
1حجم العينة: φ3mm. |
2نطاق الميل ألفا: ± 70 درجة. |
3الدقة: ≤0.34nm (في أي اتجاه). |
4معدل الانجراف: <1.5nm/min |
5مجال الرؤية: ≥1.6mm@70° ميل. |
محطة ضخ الجزيئية |
1الفراغ النهائي أفضل من 10e-7 mbar |
2متعددة الوظائف: تخزين العينات والعصا، اختبار تسرب العصا في الموقع. |