-
حجم الويفرA63.7190-68: 6/8 بوصة
-
القرار2.5nm (Acc=800V)
-
تسريع الفولتية0.5-1.6kV
-
التكرارالستاتيكية والديناميكية ± 1% أو 3nm ((3 Sigma)
-
حزمة التحقيق تيار3 ~ 30PA
-
نطاق القياسFOV 0.1 ~ 2.0μm
-
مكان المنشأالصين
-
اسم العلامة التجاريةCNOEC, OPTO-EDU
-
إصدار الشهاداتCE, Rohs
-
رقم الموديلA63.7190
-
وثيقة
-
الحد الأدنى لكميةحاسب شخصي 1
-
الأسعارFOB $1~1000, Depend on Order Quantity
-
تفاصيل التغليفالتعبئة الكرتون ، لنقل الصادرات
-
وقت التسليم5 ~ 20 يوم
-
شروط الدفعT / T ، اتحاد غرب ، باي بال
-
القدرة على العرض5000 قطعة / شهر
أوبتو-إدو A63.7190 300000x المجهر الإلكتروني المسح بالأبعاد الحرجة
|
الميكروسكوب الإلكتروني المسح الضوئي للأبعاد الحرجة (CD-SEM) هو جهاز SEM متخصص يستخدم لقياس أبعاد الميزات الصغيرة على رقائق أشباه الموصلات والقناع الضوئي والمواد الأخرى.هذه القياسات حاسمة لضمان دقة ودقة الأجهزة الإلكترونية المصنعة.
متوافق مع رقائق 6/8 بوصة الحجم، تكبير 1000x-300000x دقة 2.5nm (Acc=800V) ، التيار الكهربائي المتسارع 500V-1600V قابلية التكرار الستاتيكية والديناميكية ± 1٪ أو 3nm ((3 Sigma) ، تيار شعاع المسبار 3 ~ 30pA تصميم نظام نقل رقائق عالية السرعة مناسب لرقائق أشباه الموصلات من الجيل الثالث أنظمة البصريات الإلكترونية المتقدمة ومعالجة الصور، بما في ذلك المبردات ومضخات الجفاف |
|
▶الخصائص الرئيسية تستخدم CD-SEMs شعاع إلكترون منخفض الطاقة ولديها معايرة تكبير محسنة لضمان قياسات دقيقة ومتكررة. تم تصميمها لقياس ميزات مثل العرض والارتفاع ،و زوايا الجدران الجانبية للأنماط. |
|
▶الغرض تعد أجهزة CD-SEM ضرورية للمقياس في صناعة أشباه الموصلات ، حيث تساعد على قياس الأبعاد الحرجة للأنماط التي يتم إنشاؤها أثناء عمليات التصوير الحجري والحفر.تشير الأقراص المدمجة إلى أصغر أحجام الميزات التي يمكن إنتاجها وقياسها بشكل موثوق على رقاقة. |
|
▶التطبيقات تستخدم هذه الأدوات في خطوط تصنيع الأجهزة الإلكترونية لضمان دقة الأبعاد من الطبقات المختلفة والميزات التي تشكل رقاقة.كما أنها تلعب دورا حاسما في تطوير العملية والتحكمتساعد على تحديد وتصحيح أي مشاكل قد تنشأ أثناء عملية التصنيع.
▶أهمية بدون CD-SEMs ، سوف تكافح الميكروإلكترونيات الحديثة لتحقيق مستوى عال من الدقة والأداء الذي تطلبه الصناعة.فهي ضرورية لضمان موثوقية ووظيفة الأجهزة الإلكترونية الحديثة. |
|
▶التكنولوجيا المتغيرة مع تقدم تقنيات التصوير الحجري وتقلص أحجام الملامح ، تتطور CD-SEM باستمرار لتلبية متطلبات الصناعة.يتم تطوير تقنيات وتطورات جديدة في CD-SEM لمواجهة تحديات قياس الأنماط المعقدة بشكل متزايد |
| A63.7190 المجهر الإلكتروني المسح الضوئي للأبعاد الحرجة (CDSEM) | ||
| حجم الوافر | A63.7190-68: 6/8 بوصة | A63.7190-1212 بوصة |
| القرار | 2.5nm (Acc=800V) | 1.8nm (Acc-800V) |
| تشغيل التيار الكهربائي | 0.5-1.6 كيلو فولت | 0.3-2.0 كيلو فولت |
| التكرار | الستاتيكية والديناميكية ± 1% أو 3nm ((3 Sigma) | الحرارة الستاتيكية والديناميكية ± 1% أو 0.3nm ((3 Sigma) |
| تيار شعاع المسبار | 3 ~ 30pA | 3 ~ 40pA |
| نطاق القياس | FOV 0.1 ~ 2.0μm | FOV 0.05 ~ 2.0μm |
| الناتج | >20 وافل/ساعة | > 36 رقائق/ساعة، |
| 1 نقطة/ رقاقة | 1 نقطة/ رقاقة | |
| 20 رقائق / رقائق | 20 رقائق / رقائق | |
| التكبير | 1Kx ~ 300Kx | 1Kx-500Kx |
| دقة المرحلة | 0.5μm | |
| مصدر الإلكترون | مُصدّر الحرارة في حقل شوتكي | |
| مقارنة بين نماذج CDSEM الرئيسية في السوق | |||||
| المواصفات | هيتاشي | هيتاشي | هيتاشي | أوبتو إدو | أوبتو إدو |
| S8840 | S9380 | S9380 II | A63.7190-68 | A63.7190-12 | |
| 1حجم الوافر | 6 بوصة/8 بوصة | 8 بوصات / 12 بوصة | 8 بوصات / 12 بوصة | 6 بوصة/8 بوصة | 12 بوصة |
| 2القرار | 5nm (Acc=800V) | 2nm (Acc=800V) | 2nm (Acc=800V) | 2.5nm (Acc=800V) | 1.8nm (Acc=800V) |
| 3التيار الجهد | 500-1300 فولت | 300-1600 فولت | 300-1600 فولت | 500-1600 فولت | 300-2000 فولت |
| 4قابلية التكرار (الستاتيكية والديناميكية) | ± 1٪ أو 5nm ((3 sigma) | ± 1% أو 2nm ((3 sigma) | ± 1% أو 2nm ((3 sigma) | ± 1% أو 3nm ((3 sigma) | ± 1% أو 0.3nm ((3 sigma) |
| 5نطاق IP (تيار المسبار) | 1-16pA | 3-50pA | 3-50pA | 3-30pA | 3-40pA |
| 6حجم FOV | - | 50nm-2um | 0.05-2um | 0.1-2um | 0.05-2um |
| 7. النتيجة | 26 رقائق/ساعة | 24 رقائق/ساعة | 24 رقائق/ساعة | >20 وافرة/ساعة | 36 رقائق/ساعة |
| 1 نقطة/ رقاقة | 1 نقطة/ رقاقة | 1 نقطة/ رقاقة | 1 نقطة/ رقاقة | 1 نقطة/ رقاقة | |
| 5 رقائق / رقاقة | 20 رقاقة / رقاقة | 20 رقاقة / رقاقة | 20 رقاقة / رقاقة | 20 رقاقة / رقاقة | |
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.