أداء ممتاز، التصوير عالي السرعة، إشارات متنوعة ZEM18 المجهر الإلكتروني المسح الجهاز المكتبيةوضع الفيديو مراقبة العينات في الوقت الحقيقي، لا شبح، سحب، لا تفوت كل التفاصيل. متوافق مع مجموعة متنوعة من ZEP.TOOLS في الموقع مرحلة عينة وظيفية.
المواصفات الرئيسية: 1-جهد التسارع: 3-18kV، قابلة للتعديل باستمرار. 2نوع بندقية الإلكترون: شعاع التونغستين المتماثل مسبقاً ، مدة الحياة 100 ساعة ، سهلة استبدالها من قبل المستخدم ، عدسة بندقية مزودة بدرجتين متكاملة للغاية ، لا حاجة إلى ضبط الحجاب الحاجز باليد. 3تكبير ≥200000X؛ 4القرار:≤6nm@18KV 5كاشف: كاشف إلكترون ثانوي (SE) ، كاشف التناثر الخلفي رباعي (BSE) ، 6. المرحلة: 2 محور XY مرحلة محرك ، تتحرك 40x30mm (40x40mm اختياري)؛ 7الحد الأقصى لحجم العينة: 80x42x40mm 8. تغيير العينة و وقت ضخ الفراغ العالي ≤ 90s 9نظام فراغ عالي: مضخة تركيبية جزيئية مدمجة، مضخة ميكانيكية خارجية، الفراغ في غرفة العينة ≥1x10-1Pa، التحكم التلقائي بالكامل. 10وضع الفيديو ≥ 512x512 بكسل، لا حاجة إلى مسح النافذة الصغيرة. 11وضع الفحص السريع: وقت التصوير≤3s، 512x512 بكسل. 12وضع المسح البطيء: وقت التصوير≤40s، 2048x2048 بكسل. 13ملف الصورة: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14ضبط تلقائي لمفتاح واحد للضوء والتباين، التركيز التلقائي، خياطة الصورة الكبيرة 15وظيفة الملاحة: مراقبة الكاميرا البصرية وكاميرا المقصورة. 16وظيفة قياس الصورة: المسافة، الزاوية، الخ 17بما في ذلك الكمبيوتر و البرمجيات و التحكم بالفأرة 18اختياري: -- نسيج التونغستن (20 قطعة لكل صندوق) --إيدز --فراغ منخفض (1-100Pa) -- محور Z، محور T وحدة -- وضع التباطؤ، 1-10KV، يمكن مراقبة عينات غير موصلة أو سيئة التوصيل دون رش الذهب، فقط لنمط BSE -- مرحلة في الموقع من المصنع الأصلي، التدفئة، التبريد، والامتداد، الخ 19حجم المجهر: 283 * 553 * 505mm ، حجم المضخة الميكانيكية 340 * 160 * 140mm |
النموذج | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
القرار | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
التكبير | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
سلاح الإلكترون | التونغستين | التونغستين | التونغستين | LaB6 | شوتي FEG |
الجهد | 5/10/15 كيلو فولت | 3-18 كيلو فولت | 3-20 كيلو فولت | 3-20 كيلو فولت | 1-15 كيلو فولت |
كاشف | إصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة | إصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة | إصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة | إصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة | إصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة بمتلازمة الإصابة |
CCD الملاحة | الـ CCD | الـ CCD | كاميرا سي سي دي + كابين | كاميرا سي سي دي + كابين | كاميرا سي سي دي + كابين |
وقت الفراغ | التسعينات | التسعينات | ثلاثونات | التسعينات | 180s |
نظام الفراغ | مضخة ميكانيكية مضخة جزئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزئية مضخة الأيونات |
مضخة ميكانيكية مضخة جزئية مضخة الأيون x2 |
الفراغ | فراغ مرتفع 1x10-1Pa |
فراغ مرتفع 1x10-1Pa |
فراغ مرتفع 1x10-1Pa |
فراغ مرتفع 5x10-4Pa |
فراغ مرتفع 5x10-4Pa |
المرحلة | مرحلة XY، 40x30/40x40ملم |
مرحلة XY، 40x30/40x40ملم |
مرحلة XY، 60×55ملم |
مرحلة XY، 60×55ملم |
مرحلة XY، 60×55ملم |
دقة المرحلة | - | الموقع الدقيق 5mm | |||
مسافة العمل | 5-35ملم | 5-35ملم | 5-73.4ملم | 5-73.4ملم | 5-73.4ملم |
الحد الأقصى للعينات | 80x42x40ملم | 80x42x40ملم | 100x78x68.5ملم | 100x78x68.5ملم | 100x78x68.5ملم |
اختياري | خيط التولفستين 20 قطعة/صندوق | خيط المختبر 6 | مصباح الانبعاثات الميدانية | ||
EDS أكسفورد AZtecOne مع XploreCompact 30 | |||||
- | الفراغ المنخفض 1-100Pa | الفراغ المنخفض 1-30Pa | |||
- | وحدة المحور Z | 3 محور مرحلة، X 60mm، Y 50mm، Z 25mm | |||
- | وحدة المحور T | 3 محور المرحلة، X 60mm، Y 50mm، T ± 20° | |||
- | - | 5 محور المرحلة، X 90mm، Y 50mm، Z 25mm، T ± 20°، R 360° | |||
- | - | منصة استيعاب الصدمات، لثلاثة محاور، 5 محاور مرحلة | |||
- | وضع التباطؤ 1-10KV لمراقبة العينات غير الموصلة ، فقط لـ BSE | ||||
- | مرحلة في الموقع من المصنع الأصلي، التدفئة، التبريد، التمدد، الخ | ||||
UPS |
▶AZtecOne مع XploreCompact 30 لـ TTM
نظام تحليل التعليمات التقليدية يوفر النظام تحليلا نوعيا وكميا للمواد المختلفة، وتحليل العناصر التي تتراوح من B ((5) إلى cf (98) ، بالإضافة إلى مسح نقطة فردية لسطح العينة،مسح خط قوي ومسح الطيفي الأساسي متاح أيضا. مع كاشف مخصص، التحليل والإبلاغ يمكن القيام به في ثواني. |
المنطقة الكريستالية الفعالة | 30ملم مربع | دقة (الصورة) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
نطاق الكشف الأساسي | B (5) إلى cf (98) | معدل الحد الأقصى لعدد المدخلات | > 1،000,000 cps |