A63.7003 مجهر المسح الإلكتروني المكتبي (SEM)تدمج العديد من التقنيات المبتكرة، مما يوفر ليس فقط أداء تصوير ممتازًا ولكن أيضًا قابلية النقل، لتلبية مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات. محليًا ودوليًا، حققت سلسلة ZEM، بوضعها المتطور ونماذجها المتنوعة، معايير متقدمة في وضوح التصوير وسهولة الاستخدام وتكامل النظام.
A63.7003تشتهر بمستوى عالٍ من التكامل وخيارات التكوين المرنة. واجهة المستخدم بسيطة وسهلة التعلم والتشغيل، مما يسمح حتى للمستخدمين غير الخبراء بالإتقان بسرعة. يدعم البرنامج المصاحب سير العمل بأكمله، من إعداد العينة وتعديل المعلمات إلى تحليل الصور، مما يوفر حلاً متكاملاً وفعالاً.A63.7003أظهرت قدرات تحليلية قوية عبر مجالات متعددة مثل المواد الجديدة والطاقة الجديدة والطب الحيوي وأشباه الموصلات، مما يساعد الباحثين في استكشاف أسرار العالم المجهري. نظرًا لنسبة التكلفة إلى الأداء الممتازة، أصبحت سلسلة ZEM الخيار المفضل للعديد من الجامعات ومؤسسات الأبحاث والمؤسسات التي تبحث عن مجهر مسح إلكتروني مكتبي.
يستخدم مجهر SEM المكتبي A63.7003 نطاقًا أوسع من جهود التسريع، بزيادات 1 كيلو فولت، وتكبيرًا أقصى يبلغ 360000x بدقة تصل إلى 5 نانومتر. يسمح وضع التباطؤ المكتبي بالمراقبة في الوقت الفعلي للمنتجات منخفضة التوصيلية دون الحاجة إلى رش الذهب. يمكن دمج حجرة العينة الكبيرة جدًا مع مجموعة واسعة من منصات التوسيع في الموقع لتلبية احتياجات التجارب والفحوصات المختلفة. |
شروط العمل: المتطلبات البيئية: حجم صغير، يمكن وضع الجهاز بأكمله على طاولة مختبر عادية، ولا حاجة إلى تجهيزه بطاولة إضافية لامتصاص الصدمات. 1. مصدر الطاقة 220 فولت، 50 هرتز، 1 كيلو واط 2. درجة الحرارة: درجة الحرارة المحيطة للتشغيل: 15 درجة مئوية - 30 درجة مئوية 3. الرطوبة: <80%RH |
المواصفات الرئيسية: 1. جهد التسريع: 3-20 كيلو فولت، قابل للتعديل باستمرار. 2. نوع المدفع الإلكتروني: فتيل التنغستن المسبق المحاذاة، عمر افتراضي 100 ساعة، سهل الاستبدال من قبل المستخدم، عدسة بندقية ثنائية المراحل مدمجة للغاية، لا حاجة لضبط غشاء العدسة الشيئية يدويًا. 3. التكبير ≥360000X; 4. الدقة:≤4nm@20KV 5. الكاشف: كاشف الإلكترون الثانوي (SE)، كاشف التشتت الخلفي الرباعي (BSE)، 6. المنصة: منصة بمحرك XY ثنائية المحاور، تتحرك 60x55mm; 7. الحد الأقصى لحجم العينة: 100*78*68.5mm بينما تتحرك محاور XY بحرية 8. تغيير العينة ووقت الضخ عالي التفريغ ≤ 30 ثانية. 9. نظام التفريغ العالي: مضخة جزيئية توربو مدمجة، مضخة ميكانيكية خارجية، التفريغ في حجرة العينة ≥1x10-1Pa، تحكم أوتوماتيكي بالكامل؛ 10. وضع الفيديو ≥512x512 بكسل، لا حاجة لمسح نافذة صغيرة. 11. وضع المسح السريع: وقت التصوير ≤3 ثوانٍ، 512x512 بكسل. 12. وضع المسح البطيء: وقت التصوير ≤40 ثانية، 2048x2048 بكسل. 13. ملف الصورة: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14. تعديل تلقائي بلمسة واحدة للسطوع والتباين، والتركيز التلقائي، وتجميع الصور الكبيرة 15. وظيفة الملاحة: ملاحة الكاميرا البصرية وكاميرا المقصورة. 16. وظيفة قياس الصورة: المسافة والزاوية وما إلى ذلك. 17. بما في ذلك الكمبيوتر والبرامج والتحكم بالماوس. 18. اختياري: --فتيل التنغستن (20 قطعة/صندوق) --EDS --منصة بمحرك ثلاثية المحاور XYZ --منصة بمحرك ثلاثية المحاور XYT --منصة بمحرك خماسية المحاور XYZRT --تفريغ منخفض (1-100 باسكال) --وضع التباطؤ، 1-10 كيلو فولت، يمكنه مراقبة العينات غير الموصلة أو ذات الموصلية الضعيفة دون رش الذهب، فقط لوضع BSE --منصة في الموقع من المصنع الأصلي، التسخين، التبريد، التمدد، إلخ. --منصة امتصاص الصدمات (موصى بها لـ A63.7003) 19. حجم المجهر 650*370*642mm، حجم المضخة الميكانيكية 340*160*140mm |
الموديل | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
الدقة | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
التكبير | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
المدفع الإلكتروني | تنغستن | تنغستن | تنغستن | LaB6 | Schotty FEG |
الجهد | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
الكاشف | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD للملاحة | CCD | CCD | CCD+كاميرا المقصورة | CCD+كاميرا المقصورة | CCD+كاميرا المقصورة |
وقت التفريغ | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
نظام التفريغ | مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية مضخة أيونية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية مضخة أيونية x2 |
التفريغ | تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 5x10-4Pa |
تفريغ عالي 5x10-4Pa |
المنصة | منصة XY, 40x30/40x40mm |
منصة XY, 40x30/40x40mm |
منصة XY, 60x55mm |
منصة XY, 60x55mm |
منصة XY, 60x55mm |
دقة المنصة | - | دقة الموضع 5um | |||
مسافة العمل | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
الحد الأقصى للعينة | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
اختياري | فتيل التنغستن 20 قطعة/صندوق | مصباح Lab6 | مصباح انبعاث المجال | ||
EDS Oxford AZtecOne مع XploreCompact 30 | |||||
- | تفريغ منخفض 1-100Pa | تفريغ منخفض 1-30Pa | |||
- | وحدة Z Axis | منصة ثلاثية المحاور، X 60mm، Y 50mm، Z 25mm | |||
- | وحدة T Axis | منصة ثلاثية المحاور، X 60mm، Y 50mm، T ±20° | |||
- | - | منصة 5 محاور، X 90mm، Y 50mm، Z 25mm، T ±20°، R 360° | |||
- | - | منصة امتصاص الصدمات، لمنصة 3 محاور، 5 محاور | |||
- | وضع التباطؤ 1-10KV لمشاهدة العينات غير الموصلة، فقط لـ BSE | ||||
- | منصة في الموقع من المصنع الأصلي، التسخين، التبريد، التمدد، إلخ. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne مع XploreCompact 30 لـ TTM
تحليل EDS للنظام التقليدي يوفر النظام تحليلًا نوعيًا وكميًا للمواد المختلفة، وتحليل العناصر التي تتراوح من B(5) إلى cf (98). بالإضافة إلى عمليات المسح النقطي الفردي لسطح العينة، تتوفر أيضًا عمليات مسح خطية قوية وعمليات مسح طيفية للعناصر. جنبًا إلى جنب مع كاشف مخصص، يمكن إجراء التحليل والإبلاغ في ثوانٍ. |
مساحة الكريستال الفعالة | 30mm2 | الدقة (للصورة) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
نطاق الكشف عن العناصر | B (5) إلى cf (98) | معدل الإدخال الأقصى | >1,000,000 cps |