A63.7004 المجاهر الإلكترونية الماسحة المكتبية (SEM)، قم بترقية المسدس من التنغستن إلى LaB6،تدمج العديد من التقنيات المبتكرة، مما يوفر ليس فقط أداء تصوير ممتازًا ولكن أيضًا إمكانية النقل، لتلبية مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات. محليًا ودوليًا، حققت سلسلة ZEM، بوضعها المتطور ونماذجها المتنوعة، معايير متقدمة في وضوح التصوير وسهولة الاستخدام وتكامل النظام.
A63.7004تشتهر بمستوى عالٍ من التكامل وخيارات التكوين المرنة. واجهة المستخدم بسيطة وسهلة التعلم والتشغيل، مما يسمح حتى للمستخدمين غير الخبراء بأن يصبحوا بارعين بسرعة. يدعم البرنامج المصاحب سير العمل بأكمله، من إعداد العينة وتعديل المعلمات إلى تحليل الصور، مما يوفر حلاً متكاملاً وفعالاً.A63.7004أظهرت قدرات تحليلية قوية عبر مجالات متعددة مثل المواد الجديدة والطاقة الجديدة والطب الحيوي وأشباه الموصلات، مما يساعد الباحثين على استكشاف أسرار العالم المجهري. نظرًا لنسبة التكلفة إلى الأداء الممتازة، أصبحت سلسلة ZEM الخيار المفضل للعديد من الجامعات ومؤسسات الأبحاث والمؤسسات التي تبحث عن مجهر إلكتروني ماسح مكتبي.
يستخدم SEM A63.7004 على سطح الطاولة نطاقًا أوسع من جهود التسريع، بزيادات 1 كيلو فولت، وتكبيرًا أقصى يبلغ 360000x بدقة تصل إلى 5 نانومتر. يسمح وضع التباطؤ على سطح الطاولة بالمراقبة في الوقت الفعلي للمنتجات منخفضة التوصيل دون الحاجة إلى رش الذهب. يمكن دمج حجرة العينة الكبيرة جدًا مع مجموعة واسعة من منصات التوسيع في الموقع لتلبية احتياجات التجارب والفحوصات المختلفة. |
ظروف العمل: المتطلبات البيئية: حجم صغير، يمكن وضع الجهاز بأكمله على طاولة مختبر عادية، ولا حاجة إلى تجهيزه بطاولة إضافية لامتصاص الصدمات. 1. مصدر الطاقة 220 فولت، 50 هرتز، 1 كيلو واط 2. درجة الحرارة: درجة الحرارة المحيطة للتشغيل: 15 درجة مئوية - 30 درجة مئوية 3. الرطوبة:<80%RH |
المواصفات الرئيسية: 1. جهد التسريع: 3-20 كيلو فولت، قابل للتعديل باستمرار. 2. نوع المسدس الإلكتروني: فتيل LaB6 أحادي البلورة مسبق الضبط، عمر افتراضي 1500 ساعة، عدسة مسدس ثنائية المرحلة مدمجة للغاية، لا حاجة لضبط الحجاب الحاجز للعدسة الشيئية يدويًا. 3. التكبير ≥360000X؛ 4. الدقة:≤3nm@20KV 5. الكاشف: كاشف الإلكترون الثانوي (SE)، كاشف التشتت الخلفي الرباعي (BSE)، 6. المنصة: منصة بمحرك XY ذات محورين، تتحرك 60x55mm؛ 7. الحد الأقصى لحجم العينة: 100*78*68.5 مم بينما تتحرك محاور XY بحرية 8. تغيير العينة ووقت الضخ عالي التفريغ ≤ 90 ثانية. 9. نظام التفريغ العالي: مضخة ميكانيكية، مضخة جزيئية توربينية، مضخة أيونية، التفريغ في حجرة العينة ≥4x10-2Pa، تحكم أوتوماتيكي بالكامل؛ 10. وضع الفيديو ≥512x512 بكسل، لا حاجة لمسح نافذة صغيرة. 11. وضع المسح السريع: وقت التصوير ≤3 ثوانٍ، 512x512 بكسل. 12. وضع المسح البطيء: وقت التصوير ≤40 ثانية، 2048x2048 بكسل. 13. ملف الصورة: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14. تعديل تلقائي بمفتاح واحد للسطوع والتباين، والتركيز التلقائي، وتجميع الصور الكبيرة 15. وظيفة الملاحة: ملاحة الكاميرا البصرية وكاميرا المقصورة. 16. وظيفة قياس الصورة: المسافة والزاوية وما إلى ذلك. 17. بما في ذلك الكمبيوتر والبرامج والتحكم بالماوس. 18. اختياري: --فتيل التنغستن (20 قطعة/صندوق) --EDS --منصة بمحرك ثلاثي المحاور XYZ --منصة بمحرك ثلاثي المحاور XYT --منصة بمحرك خماسي المحاور XYZRT --تفريغ منخفض (1-60 باسكال) --منصة في الموقع من المصنع الأصلي، تسخين، تبريد، تمدد، إلخ. --وضع التباطؤ، 1-10 كيلو فولت، يمكنه مراقبة العينات غير الموصلة أو ضعيفة التوصيل دون رش الذهب، فقط لوضع BSE --منصة امتصاص الصدمات (موصى بها لـ A63.7004) 19. حجم المجهر 650*370*642 مم، حجم المضخة الميكانيكية 340*160*140 مم |
الموديل | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
الدقة | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
التكبير | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
المسدس الإلكتروني | تنغستن | تنغستن | تنغستن | LaB6 | Schotty FEG |
الجهد | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
الكاشف | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD للملاحة | CCD | CCD | CCD+كاميرا المقصورة | CCD+كاميرا المقصورة | CCD+كاميرا المقصورة |
وقت التفريغ | 90 ثانية | 90 ثانية | 30 ثانية | 90 ثانية | 180 ثانية |
نظام التفريغ | مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية مضخة أيونية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية مضخة أيونية x2 |
التفريغ | تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 5x10-4Pa |
تفريغ عالي 5x10-4Pa |
المنصة | منصة XY، 40x30/40x40mm |
منصة XY، 40x30/40x40mm |
منصة XY، 60x55mm |
منصة XY، 60x55mm |
منصة XY، 60x55mm |
دقة المنصة | - | دقة الموضع 5um | |||
مسافة العمل | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
الحد الأقصى للعينة | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
اختياري | فتيل التنغستن 20 قطعة/صندوق | فتيل Lab6 | مصباح انبعاث المجال | ||
EDS Oxford AZtecOne مع XploreCompact 30 | |||||
- | تفريغ منخفض 1-100 باسكال | تفريغ منخفض 1-30 باسكال | |||
- | وحدة المحور Z | منصة ثلاثية المحاور، X 60 مم، Y 50 مم، Z 25 مم | |||
- | وحدة المحور T | منصة ثلاثية المحاور، X 60 مم، Y 50 مم، T ±20° | |||
- | - | منصة خماسية المحاور، X 90 مم، Y 50 مم، Z 25 مم، T ±20°، R 360° | |||
- | - | منصة امتصاص الصدمات، لمنصة ثلاثية المحاور، خماسية المحاور | |||
- | وضع التباطؤ 1-10 كيلو فولت لمشاهدة العينات غير الموصلة، فقط لـ BSE | ||||
- | منصة في الموقع من المصنع الأصلي، تسخين، تبريد، تمدد، إلخ. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne مع XploreCompact 30 لـ TTM
تحليل EDS التقليدي للنظام يوفر النظام تحليلًا نوعيًا وكميًا للمواد المختلفة، وتحليل العناصر التي تتراوح من B(5) إلى cf (98). بالإضافة إلى عمليات المسح النقطي الفردي لسطح العينة، تتوفر أيضًا عمليات مسح خطية قوية وعمليات مسح طيفية للعناصر. جنبًا إلى جنب مع كاشف مخصص، يمكن إجراء التحليل والإبلاغ في ثوانٍ. |
مساحة الكريستال الفعالة | 30mm2 | الدقة (للصورة) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
نطاق الكشف عن العناصر | B (5) إلى cf (98) | معدل الإدخال الأقصى | >1,000,000 cps |