المواصفات الرئيسية: 1. جهد التسارع: 1-15 كيلو فولت، قابل للتعديل باستمرار. 2. نوع المدفع الإلكتروني: مدفع انبعاث المجال (FEG) من نوع schotty، عدسة مدفعية مدمجة للغاية على مرحلتين، لا حاجة لضبط الحجاب الحاجز لعدسة الهدف يدويًا. 3. التكبير ≥1000000X؛ 4. الدقة:≤2.5nm@15KV 5. الكاشف: كاشف إلكترون ثانوي (SE)، كاشف تشتت خلفي رباعي (BSE)، 6. المنصة: منصة بمحرك XY ذات محورين، تتحرك 60x55mm؛ 7. الحد الأقصى لحجم العينة: 100*78*68.5mm بينما تتحرك محاور XY بحرية 8. تغيير العينة ووقت الضخ عالي التفريغ≤ 180 ثانية. 9. نظام التفريغ العالي: مضخة ميكانيكية، مضخة توربو جزيئية، مضخة أيونية x2، التفريغ في حجرة العينة ≥4x10-2Pa، تحكم أوتوماتيكي بالكامل؛ 10. وضع الفيديو ≥512x512 بكسل، لا حاجة لمسح نافذة صغيرة. 11. وضع المسح السريع: وقت التصوير≤3 ثوانٍ، 512x512 بكسل. 12. وضع المسح البطيء: وقت التصوير≤40 ثانية، 2048x2048 بكسل. 13. ملف الصورة: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14. تعديل تلقائي بمفتاح واحد للسطوع والتباين، والتركيز التلقائي، وتجميع الصور الكبيرة 15. وظيفة الملاحة: ملاحة الكاميرا البصرية وكاميرا المقصورة. 16. وظيفة قياس الصورة: المسافة والزاوية وما إلى ذلك. 17. بما في ذلك الكمبيوتر والبرامج والتحكم بالماوس. 18. اختياري: --خيوط التنغستن (20 قطعة/صندوق) --EDS --منصة بمحرك ثلاثي المحاور XYZ --منصة بمحرك ثلاثي المحاور XYT --منصة بمحرك خماسي المحاور XYZRT --تفريغ منخفض (1-60Pa) --منصة في الموقع من المصنع الأصلي، تسخين، تبريد، تمدد، إلخ. --وضع التباطؤ، 1-10 كيلو فولت، يمكنه مراقبة العينات غير الموصلة أو ذات الموصلية الضعيفة دون رش الذهب، فقط لوضع BSE --منصة امتصاص الصدمات (موصى بها لـ A63.7005) 19. حجم المجهر 650*370*642mm، حجم المضخة الميكانيكية 340*160*140mm |
الموديل | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
الدقة | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
التكبير | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
المدفع الإلكتروني | تنغستن | تنغستن | تنغستن | LaB6 | Schotty FEG |
الجهد | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
الكاشف | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
ملاحة CCD | CCD | CCD | CCD+كاميرا المقصورة | CCD+كاميرا المقصورة | CCD+كاميرا المقصورة |
وقت التفريغ | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
نظام التفريغ | مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية مضخة أيونية |
مضخة ميكانيكية مضخة جزيئية مضخة أيونية x2 |
التفريغ | تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 1x10-1Pa |
تفريغ عالي 5x10-4Pa |
تفريغ عالي 5x10-4Pa |
المنصة | منصة XY, 40x30/40x40mm |
منصة XY, 40x30/40x40mm |
منصة XY, 60x55mm |
منصة XY, 60x55mm |
منصة XY, 60x55mm |
دقة المنصة | - | دقة الموضع 5um | |||
مسافة العمل | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
أقصى عينة | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
اختياري | خيوط تنغستن 20 قطعة/صندوق | خيوط Lab6 | مصباح انبعاث المجال | ||
EDS Oxford AZtecOne مع XploreCompact 30 | |||||
- | تفريغ منخفض 1-100Pa | تفريغ منخفض 1-30Pa | |||
- | وحدة محور Z | منصة ثلاثية المحاور، X 60mm، Y 50mm، Z 25mm | |||
- | وحدة محور T | منصة ثلاثية المحاور، X 60mm، Y 50mm، T ±20° | |||
- | - | منصة خماسية المحاور، X 90mm، Y 50mm، Z 25mm، T ±20°، R 360° | |||
- | - | منصة امتصاص الصدمات، لمنصة ثلاثية المحاور، خماسية المحاور | |||
- | وضع التباطؤ 1-10KV لمشاهدة العينات غير الموصلة، فقط لـ BSE | ||||
- | منصة في الموقع من المصنع الأصلي، تسخين، تبريد، تمدد، إلخ. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne مع XploreCompact 30 لـ TTM
تحليل EDS التقليدي للنظام يوفر النظام تحليلًا نوعيًا وكميًا لمواد مختلفة، وتحليل العناصر التي تتراوح من B(5) إلى cf (98). بالإضافة إلى عمليات المسح النقطي الفردي لسطح العينة، تتوفر أيضًا عمليات مسح خطية قوية وعمليات مسح طيفية للعناصر. جنبًا إلى جنب مع كاشف مخصص، يمكن إجراء التحليل والإبلاغ في ثوانٍ. |
مساحة الكريستال الفعالة | 30mm2 | الدقة (للصورة) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
نطاق الكشف عن العناصر | B (5) إلى cf (98) | معدل الإدخال الأقصى | >1,000,000 cps |